판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9389807

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체 및 태양 광 발전 장치에서 박막 코팅 및 증착을 생성하는 데 사용되는 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 이 원자로는 뛰어난 픽셀 채움 (pixel fill) 과 높은 처리량을 갖춘 균일 한 필름을 제공 할 수 있습니다. AKT Endura II는 신뢰성이 높도록 설계되었으며, 다양한 유형의 프로세스에 대한 프로세스 윈도우가 넓습니다. 장비는 3 가지 주요 구성 요소 (전원 모듈, 가스 분배 모듈 및 공정 챔버) 로 구성됩니다. 전원 모듈에는 플라즈마 에너지 소스, 고전압 전원 공급 장치, 플라즈마 점화 컨트롤러 등이 있습니다. 이 시스템은 반복 가능하고 반복 가능한 결과를 위해 플라즈마 온도 및 밀도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 가스 분배 모듈 (gas distribution module) 은 프로세스 가스를 챔버에 분배하며, 또한 프로세스 가스의 압력과 흐름을 모두 제어합니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 자체는 사용이 간편한 제어 장치 (Control Unit) 를 갖춘 견고하고 안정적인 설계로 설계되었으며, 거의 모든 증착 공정에 대한 광범위한 프로세스 창을 제공합니다. 이 기계는 최대 41 "크기의 증착 장비를 처리 할 수 있으며, 비정질 실리콘 또는 실레인 가스를 사용할 때 최대 500 Ångströms/분의 연속 필름 증착 속도를 허용합니다. 또한 각 증착 후 챔버를 청소하는 자동 제거 도구를 제공합니다. 또한, AMAT Endura II에는 범위 외 프로세스 매개변수를 모니터링하고 감지하는 강력한 안전 자산이 포함되어 있습니다. 이 모델은 태양전지 생산 (solar cell production) 및 기타 반도체 응용에 이상적인 솔루션으로, 넓은 처리 창이 필요한 정밀한 필름 증착이 필요합니다. 대용량 박막 증착을 위한 최고의 처리량을 제공하며, 반복성과 신뢰성을 보장합니다. 이것은 반도체 또는 태양 광 발전 장치의 정확하고 균일 한 코팅을 보장하는 제조업체에 중요합니다.