판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9389805

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9389805
PVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 화학 증기 증착 (CVD), 산화, 착화 등 반도체 칩 조립에서 다양한 기능을 수행하도록 설계된 완전 자동화 반도체 제작 원자로입니다. 이러한 모든 기능은 제어 조건에서 단일 닫힌 챔버 (closed chamber) 에서 수행되므로 높은 품질 및 운영 일관성을 보장합니다. AKT Endura II 장비는 각 프로세스의 최적의 작동을 위해 사전 프로그래밍되는 자동 레시피를 갖추고 있습니다. CVD 공정의 경우, 반응물이 챔버에 주입되어 웨이퍼 표면에 필름 (film) 을 형성합니다. 그런 다음 통합 자동화 시스템은 압력, 온도 및 기타 매개변수를 모니터링하여 정확한 반응을 보장합니다. 산화 (Oxidation) 및 이식 (Implantation) 프로세스도 동일한 챔버에서 수행되며 처리량을 높이고 프로세스 제어를 개선합니다. AMAT Endura II 원자로는 처리량을 최적화하고 일관된 작동을 보장하는 업계 최고의 설계를 갖추고 있습니다. 이 장치는 챔버 청소 (clean) 및 유지 보수 (maintenance) 의 필요성을 줄여 수율을 높이고 다운타임을 줄이는 데 도움이됩니다. 통합 로드 잠금 (Integrated Load Lock) 기능을 사용하면 웨이퍼를 인라인 (in-line) 방식으로 전송할 수 있고 처리량 및 일관성을 더욱 높일 수 있습니다. 엔두라 II (Endura II) 에는 처리 매개변수를 정확하게 제어하는 다양한 기능과 옵션이 포함되어 있습니다. 여기에는 다양한 가스 전달 시스템, 고급 로드 잠금 장치, 정밀 압력 제어 장치, 고대역폭 피드백 제어 등이 포함됩니다. 이렇게 하면 프로세스 조건이 원하는 결과와 일치하므로 고품질 (High-Quality) 생산이 가능합니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 광범위한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 마이크로일렉트로닉 장치, 칩, 집적 회로 및 기타 부품의 대용량 생산에 이상적입니다. 원자로는 다양한 어플리케이션에서 안정적이고 일관되게 작동하도록 설계되었습니다. 또한 '모듈식 (modular)' 설계를 통해 특정 요구 사항을 충족하고 생산성을 높일 수 있도록 툴을 업그레이드하거나 사용자 정의할 수 있습니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 다양한 기능을 수행하도록 설계된 자동 반도체 제작 원자로입니다. 고급 설계 (design) 및 통합 자동화 자산 (automation asset) 을 통해 빠른 주기 시간과 일관된 운영을 통해 처리량을 높이고 높은 품질의 생산을 실현할 수 있습니다. 또한, 모델 (model) 은 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있는 다양한 기능과 옵션을 제공합니다.
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