판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9387985

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II 원자로는 반도체 제조 산업의 고급 반응 공정을 위해 설계된 최첨단 저압 고진공 (LVHV) CVD 시스템입니다. 박막 증착, 에칭, 유전체 증착, 금속 접촉 제조, 금속/산화물 에치 선택성, 웨이퍼 클리닝 등 다양한 복잡한 화학 및 물리적 프로세스를 수행 할 수 있습니다. AKT 엔두라 II (Endura II) 원자로는 업계 최고의 고정밀 진공 시스템을 갖추고 있으며, 기본 압력 2X10-7 Pa까지 도달할 수 있습니다. 견고한 설계는 고급 컨트롤러와 정교한 센서로 보완되어 압력, 온도, 가스 흐름 및 기타 변수를 정확하게 제어합니다. 증착 과정의 성능. AMAT Endura II 원자로는 증착 과정을 포함하기 위해 큰 석영실을 사용합니다. 챔버 (chamber) 물개는 원하는 반응이 달성 된 후 프로세스 가스를 효율적으로 추출 할 수있다. "쿼츠 '실 의 벽 에 내장 된 가열 원소 들 은 증착 과정 중 에" 기판' 에 열 을 고르게 공급 하여 두께 가 균일 하고 접착 이 좋아지게 한다. 여러 개의 가스 입구가 석영 챔버 (quartz chamber) 의 측면에 내장되어 증착 과정에 필요한 다른 물질 전구체를 용이하게합니다. 이 챔버 디자인은 또한 오랜 증착주기 후에도 균일 한 필름 증착을 달성하는 데 도움이됩니다. APPLIED MATERIALS Endura II (APPLIED MATERIALS Endura II) 는 또한 다수의 공압 소광 시스템을 갖추고 있으며, 이 시스템은 급속한 공기로 원자로를 폐쇄하여 최종 제품의 품질을 제공합니다. 또한, 이 원자로에는 증착 과정과 그 변수를 제어하고 모니터링하기위한 다중 영역 (multi-zone) 고정밀 자동 프로세스 제어 시스템이 포함되어 있습니다. 마지막으로, Endura II 원자로는 또한 장치 수율과 생산 처리량을 증가시키는 높은 공정 능력을 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II 원자로는 다양한 기능을 통해 반도체 산업을위한 고급 재료 개발에 이상적인 도구입니다.