판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9379805

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 집적 회로 제작에 사용되는 고성능 증착 시스템입니다. 이 원자로는 작고 정교한 진공 환경 내에서 작동하며 폴리 실리콘, 산화물, 알루미늄, 티타늄, 질화물 등 다양한 물질을 증착 할 수 있습니다. AKT 엔두라 II (Endura II) 원자로에는 최적의 증착 특성을 보장하기 위해 이중 스퍼터 소스가 있으므로 고급 장치 생산에 적합한 플랫폼입니다. AMAT Endura II Reactor는 안정적이고 강력한 증착 도구로 혁신적인 디자인 기능을 갖추고 있습니다. 원자로 (reactor) 는 극심한 온도 안정성을 위해 거의 헤르메틱하게 밀봉되고 배경 오염을 감소시키는 완전한 챔버 인클로저 (full chamber enclosure) 를 특징으로합니다. 이 원자로의 내부에는 스프링로드 된 목표물과 반응성 가스의 우수한 이온화를 제공하는 이중 소스, 다중 자석 어셈블리 (multi-magnet assembly) 가 있으며, 이는 균일하고 고밀도 플라스마를 초래합니다. 이 예금 균일성은 뛰어난 필름 특성을 가진 재료의 효율적이고 신뢰할 수있는 도핑을 가능하게합니다. 또한, 최적화 된 "마그네트론 '설계 는 입자 들 이 기판 으로 되돌아가는 것 을 막음 으로써" 스퍼터' 오염 을 최소화 시킨다. APPLIED MATERIALS Endura II Reactor에는 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 고급 가스 랙 모니터링 시스템은 3 중 공급 및 퍼지 경로 (purge path) 로 설계되어 적절한 가스 사전 조절 및 혼합을 보장합니다. 이것은 차단, 가스 누출 및 기타 잠재적 인 위험의 위험을 줄입니다. 고급 디지털 컨트롤러 (Advanced Digital Controller) 시스템은 압력과 온도의 실시간 조정을 제공하여 정교한 매개변수에 대한 최적의 제어를 보장합니다. 또한 총 증착 두께와 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. Endura II 원자로의 다재다능성은 가장 강력한 장점 중 하나입니다. 이중 소스 디자인과 우수한 이온화 (ionization) 는 다양한 재료에 대한 우수한 증착력을 제공합니다. 이 다목적 도구는 단일 사이클 (cycle) 로 고속, 다중 소스 스퍼터 시퀀스 (sputter sequence) 를 수행할 수 있으며, 디지털 컨트롤러는 매개변수 기반 작업에서 최고 수준의 제어를 제공합니다. 다양한 안전 및 성능 기능을 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor는 반도체 산업에서 가장 발전된 증착 도구 중 하나입니다.