판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9372759

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체 배치 처리를 위해 비접촉 비파괴 배치 원자로입니다. 이 원자로는 반도체 부품의 개발, 효율적인 확장, 반복 가능한 반복 생산이 가능하도록 설계되었습니다. 대당 낮은 생산 비용으로 비용 효율적인 플랫폼을 제공합니다. 원자로 (Reactor) 는 UHV 납 차폐 공정 장비 만 사용하여 반도체 입자 오염과 주변 환경의 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. 깨끗함, 반복성, 정확한 웨이퍼 정렬은 매우 정확하고 안정적인 반도체 생산을 가능하게합니다. 또한, 비용이 많이 드는 재설계 또는 시작 시간이 길어집니다. 이 원자로 는 여러 개 의 수직 용광로 와 "가스 '제거 장치 를 갖추고 있어, 청정실 상태 를 촉진 하고 오염 을 감소 시킨다. 그것의 작업 챔버는 또한 생산 공정에서 전자기 간섭을 줄이기 위해 구리 포일 차폐 (copper foil shielding) 에 둘러싸여 있습니다. 이 원자로에는 직경이 최대 8 인치 인 최대 3000 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 큰 챔버가 있습니다. 또한이 챔버는 가스 확산을 최소화하도록 설계되었습니다. 수직 리프트 시스템을 사용하면 웨이퍼를 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한 웨이퍼의 정확한 백업 거리 제어를 가능하게하여 낮은 입자 수준을 보장합니다. AKT Endura II는 증발, 스퍼터링, 산화, 증착, 어닐링, 에칭 및 저항 스트립을 포함한 여러 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 추가 현장 모니터링 구성 요소를 추가할 수 있습니다. 개방형 아키텍처는 다양한 소프트웨어 패키지로 통합됩니다. AMAT 엔두라 II (Endura II) 는 서보 제어 드라이브 시스템으로 인해 정확하고 반복 가능한 처리가 가능하며, 이는 웨이퍼의 온도를 ± 0.25 ° C 정확도로 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한 전원 공급 장치 또는 환경 조건의 변동으로 인해 생산이 영향을 받지 않습니다. 결론적으로, APPLIED MATERIALS Endura II는 효율적이고, 비용 효과적이며, 신뢰할 수있는 반도체 배치 원자로로, 다양한 프로세스와 많은 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 소형 부품 (small part) 을 정확하고 반복적으로 처리하는 능력은 단기간에 고품질 (high quality) 제품을 생산해야 하는 반도체 제조업체에 이상적인 솔루션이 된다.