판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9372655

ID: 9372655
PVD System DT ESC Puck for SLT ESC Part number: 0010-41276.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 고급 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 원자로입니다. 초박형 초소형 반도체 필름 제작에 사용되는 PVD (Physical Vapor Deposition) 시스템입니다. AKT 엔두라 II (Endura II) 는 다양한 기판에서 여러 물질을 증착 할 수있는 유연하고 다재다능한 원자로이다. AMAT 엔두라 II (Endura II) 는 다양한 유형의 박막 장치를 생산하는 데 적합한 다양한 운영 유연성을 제공합니다. 원자로에는 현대 반도체 응용프로그램의 까다로운 요구사항에 부합하는 "박막 (Thin Film) '과 구조물의 증착을 가능케 하는 몇 가지 기능이 탑재돼 있다. Endura II는 합금, 합금 확산 및 초박막 응용 프로그램과 같은 고급 기술을 사용하여 재료를 증착 할 수있는 저압 SLATE (sequential lateral solidification) 공정 챔버를 특징으로합니다. 슬레이트 (SLATE) 프로세스는 최대 5 개의 서로 다른 재료를 동시에 운용하여 복잡하고 조작된 인터페이스로 구조를 증착 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 또한 실시간 프로세스 제어를 위해 RF 증폭기, 생성기 및 현장 모니터와 같은 여러 유틸리티를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 또한 몇 가지 사용자에게 친숙한 기능 (예: 레시피, 프로세스를 사전 프로그래밍하고 다른 시스템의 데이터를 쉽게 전송하는 기능) 을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 또한 박막 및 구조물의 특성화를위한 광범위한 in-situ 및 ex-situ 도량형 도구를 지원합니다. 이러한 도구는 박막의 필름 응력, 두께, 구성, 전기, 광학 및 표면 특성을 측정 할 수 있습니다. AKT Endura II는 고급 반도체 제작 프로세스에 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 그것 은 사용 하기 쉽고, 여러 가지 기판 에 재질 을 증착 할 수 있게 해 준다. 그렇다. 강력한 디자인으로 경제적인 비용으로 높은 수준의 성능을 지닌 박막 (Thin Film) 을 증설할 수 있습니다.
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