판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9363128

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체 제조에 사용되는 고급 물리 증기 증착 (PVD) 원자로입니다. 즉, 프로세스 제어를 철저하게 관리하여 획일성, 반복성, 처리율을 높일 수 있습니다. 고성능 기계이며 3 가지 주요 구성 요소 (프로세스 챔버, 진공 장비, 프로세스 제어 시스템) 로 구성됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 기판을 고정시키기 위해 틸팅 및 회전 선반이 장착 된 밀폐 진공 용기입니다. 제조 공정 중 에, "기판 '을 적재 하여 하역 시키고, 약실 을 기울이고 회전 시켜" 기판' 을 기울여 최적 의 "코우팅 '을 하게 할 수 있다. 진공 장치 (vacuum unit) 는 챔버의 가스 흐름을 제어하며, 가스 처리된 재료를 제거한다. 이 기계는 또한 증착 과정에서 챔버를 진공 상태로 유지하는 것을 담당합니다. 세 번째 주요 컴포넌트는 프로세스 제어 도구입니다. 이것은 가스 흐름, 온도, 압력 및 기판 위치를 정확하게 제어함으로써 코팅 중 정확성과 반복성을 보장하는 메커니즘입니다. 압력 (pressure), 반송파 가스 흐름 (carrier gas flow), 증착률 (deposition rate) 과 같은 다양한 프로세스 변수를 감지하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 스로틀 (throttle) 밸브, 전원 공급 장치 시스템 및 플라즈마 발전기를 제어하여 이러한 구성 요소를 최적으로 작동시킬 수 있습니다. AKT Endura II는 고급형 PVD 원자로로, 가장 고급형 반도체 제작 공정에서 사용하기에 적합합니다. 공정 챔버 (process chamber), 진공 자산 (vacuum asset) 및 공정 제어 모델을 효과적으로 결합하여 정확한 코팅 프로세스를 제공하고 균일성, 반복성 및 높은 처리율을 보장합니다. 최고의 코팅 품질과 생산성 극대화를 위한 GTM (Go-To-To) 제품입니다.