판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358618

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II 원자로는 고급 반도체 제조 공정에 사용되는 신뢰성이 높은 산업 등급 증착 도구입니다. 이 원자로는 견고한 디자인, 진동 내성 및 긴 서비스 수명으로 유명합니다. AKT Endura II 원자로는 기본 챔버, 로드 락 메커니즘, 가스 분포 시스템, 이온 소스, 대상 및 플라즈마 소스의 여러 구성 요소로 구성됩니다. 베이스 챔버 (base chamber) 는 중앙 바디 (central body) 와 탈착식 커버 (removable cover) 의 두 부분으로 구성되어 있으며 모두 알루미늄으로 만들어져 있습니다. 표지는 모든 성분을 함께 잡고 4 개의 빠른 방출 클램프 (quick-release clamps) 로 밀봉되며, 중앙 본체는 대기 압력을 견딜 수 있습니다. 챔버에는 압력, 전력 및 가스 전달 라인을위한 여러 스테인레스 스틸 포트가 있습니다. 챔버 외부에 위치한 진공 펌프 (vacuum pump) 는 챔버 내에서 압력 제어를 허용합니다. 로드 락 메커니즘은 챔버에 밀봉되지 않은 가열 된 입구를 제공합니다. 로드록에는 입력 도어와 출력 도어의 두 부분이 있습니다. "입력 도어 '는 오염 물질 을 방출 시키도록 설계 되었으며, 출력 도어 는 고압" 도어' 를 방출 하지 못하게 한다. "가스 '분포 장치 는" 가스' 선 과 "가스 매스 '의 두 부분 으로 구성 되어 있다. "가스 '선 은 각" 가스' 의 유속 을 조절 하고 약실 내 의 압력 을 측정 하도록 설계 되었다. 가스 매스 (gasmass) 는 가스를 챔버 내의 목적지로 안내하는 일련의 튜브입니다. 이온 소스는 하전 입자를 증착실에 도입하도록 설계되었습니다. 이것은 전기장 (electric field) 을 적용함으로써 이루어지며, 입자를 소스에서 배출하여 표적 (target) 으로 이동합니다. 대상은 챔버 내부에 배치되는 가공소재입니다. 이것은 일반적으로 실리콘 웨이퍼와 같은 기판입니다. 증착 과정에서, 목표는 이온과 퇴적 물질로 폭격된다. 혈장 공급원은 입자를 에너지화하고 증착을 촉진하는 역할을합니다. 이 "소오스 '는 고주파 의 전기 파동 을 사용 하여" 플라즈마' 를 만든 다음 에 "챔버 '로 향한다. 전반적으로 AMAT/AMAT Endura II 원자로는 반도체 제작을위한 강력하고 안정적이며 사용하기 쉬운 도구입니다. 이 시스템의 많은 구성요소 (구성 요소) 는 장수와 효율성을 염두에 두고 설계되었으며, 사용자에게 비용 효율적이고 안정적인 증착 (deposition) 프로세스를 제공합니다.