판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358613

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9358613
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
System, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 고급, 컴퓨터 제어 화학 증기 (CVD) 원자로입니다. 원자로는 다이아몬드 및 다이아몬드 유사 탄소 (DLC) 필름의 강착에 사용됩니다. 온벽 서셉터 (hot-wall susceptor) 가 장착되어 다양한 유형의 재료의 흡열 증착이 가능합니다. 흡열은 본질적으로 안정화되지 않은 또는 수소 안정화 된 다이아몬드 및 다이아몬드 복합 시스템에서 개선 된 필름 특성을 허용합니다. AKT 엔두라 II (AKT Endura II) 는 단일 고정 가스 사료를 기반으로 탄화수소 필름의 무질서한 상의 증착을 가능하게한다. 여기에는 다이아몬드, 비정질 다이아몬드, 비정질 수소화 탄소 및 기타 중합 그래픽 재료와 같은 재료가 포함됩니다. CVD 공정은 2 개의 가스, 일반적으로 탄화수소 및 산화제의 화학 반응을 포함하며, AMAT 엔두라 II (AMAT Endura II) 는 물질이 퇴적되는 기질의 정확한 제어를 가능하게한다. Endura II는 독점적 인 AKT 듀얼 샤프트 콜드 월 로터리 서셉터를 사용하여 균질 한 필름 성장을 촉진합니다. 이중 샤프트 콜드 월 벨-자르 (cold wall bell-jar) 와 서셉터의 토폴로지는 다이아몬드 퇴적에 직면 한 많은 일반적인 문제를 피합니다. 이렇게 하면 고도로 정렬되고 견고한 서피스가 필요한 영역의 적용 (application) 에 도움이 되는 균일 한 서피스 토폴로지가 생성됩니다. APPLIED MATERIALS Endura II의 독특한 기능은 사전 프로그래밍 된 가스 혼합 모듈과 함께 폐쇄 루프 가스 인 라인 모니터링 시스템 (closed loop gas in-line monitoring system) 의 통합입니다. 이 "시스템 '은 정밀 하고 안정 된" 가스' 혼합 과 같은 여러 가지 장점 을 제공 하여 "가스 '의 정밀 한 조절 과" 필름' 의 균일성 을 향상 시켜 준다. 원자로 내의 가스 믹스 (gas mix) 의 상수 모니터링은 원하는 박막 증착 특성을 달성하기 위해 증착 공정의 지속적인 조정 및 미세 튜닝 (fine tuning) 을 가능하게한다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 또한 UI (사용자 인터페이스) 를 사용합니다. 이렇게 하면 제어 설정 (control settings), 모든 프로세스 매개변수 (process parameter) 의 고급 자동화, 프로세스 조건에 대한 실시간 모니터링 및 평가를 원격으로 간편하게 액세스할 수 있습니다. 또한 UI 를 통해 운영자는 품질 관리 (Quality Control) 요구 사항에 맞게 레시피를 만들고 저장할 수 있습니다. AKT Endura II는 화학 증기 증착, 레이저 절제 증착, 스퍼터링 공정 등 다양한 물리 화학 공정을 지원할 수 있습니다. 고급 기능으로 인해 AMAT Endura II는 다양한 산업에서 널리 사용되지만, 여기에는 반도체, 항공 우주, 생의학, 나노 재료 및 자동차가 포함됩니다.
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