판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358612

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II 원자로는 반도체 제작 프로세스에 사용되는 도구입니다. 그것은 UHV (Ultra-High Vacuum) 챔버를 통해 화학 증기 증착 (CVD) 을 사용하여 산화물, 질화물 및 기타 물질의 얇은 필름을 기판으로 퇴적시킵니다. 이 CVD 프로세스를 통해 퇴적된 재료의 두께와 조성을 정확하게 제어할 수 있으며, 고품질 전자 부품 (electronic component) 을 생성하는 데 이상적입니다. AKT Endura II 원자로에는 다양한 재료를 처리하도록 설계된 cryo-pumped 이온 소스가있는 UHV 챔버가 있습니다. 챔버 (Chamber) 는 압력 밀봉이 가능하며 내부 측정 및 제어 시스템을 갖추고 재현 가능한 결과를 보장합니다. PLC (programmable logic controller) 는 효율성을 극대화하기 위해 프로세스 매개 변수를 관리하고 제어하는 데 사용됩니다. AMAT Endura II에는 최대 10 개의 가스를 공급할 수있는 2 개의 가스 라인과 2 개의 보조 가스 라인이 있습니다. 가스 라인에는 수동, 공압 또는 모터 구동 밸브가 장착 될 수 있습니다. "가스 '선 은 가공 실 에" 가스' 를 정확 하게 도입 하고 혼합 할 수 있게 해 준다. Endura II에는 기판이 올바르게 정지되도록 고급 쿼츠 에칭 시스템이 있습니다. 기질은 최대 1,000 ° C의 온도로 가열 될 수 있으며, 화학 에칭, 열 산화, 이온 폭격, 화학 증기 증착을 포함하여 챔버에서 활성 공정 단계가 발생할 수 있습니다. 내장 플라즈마 발전기는 향상된 저온 작동에 사용됩니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 안전과 사용 편의성을 염두에 두고 설계되었습니다. 이 장치는 완전히 밀폐되어 우발적 인 작동을 방지하기 위해 안전 연결 장치 (Safety Interlock) 가 장착되어 있습니다. PLC는 반자동 작동을 위해 프로그래밍 될 수 있으며, 반복 가능하고 재현 가능한 결과를 보장합니다. 최대한의 안전성과 정확성을 보장하기 위해 자동화된 모니터링 시스템 (Suite of Automated Monitoring Systems) 을 자체 진단하고 갖추고 있습니다.