판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9351090

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 플라즈마 작동 조건을 동적으로 제어하는 플라즈마 프로세스를 수행하도록 설계된 다용도 원자로입니다. 이 원자로는 진공 펌프 (vacuum pump), 스테이지 (stage) 및 소스의 기능을 결합한 완전한 에칭 또는 증착 기술을위한 올인원 플라즈마 처리 장비입니다. AKT Endura II에는 다양한 보호 및 제어 시스템이 포함되어 있어 안전성, 반복성, 프로세스 제어, 정밀도 (precision) 를 높여 프로세스를 안정적으로 실행할 수 있습니다. AMAT Endura II는 기본 압력 1 x 10-7mbar의 프리미엄 가스 타이트 스테인리스 스틸 진공실의 6 음극 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 "펌프 '속도 가 변경 되어도 진공 무결성 을 유지 하는 데 도움 이 되는, 혁신적인 진공" 펌프' 왜곡 조절 장치 를 갖추고 있다. 특히 처리량이 많은 프로세스에 유용합니다. 또한 최대 44kg 의 하중을 제공하는 레이다운 (lay-down) 웨이퍼 스테이지는 다양한 웨이퍼 로딩 구성을 가능하게 합니다. Endura II는 또한 최대 160MHz의 주파수와 총 300W의 RF 발전기를 갖추고 있습니다. 이 발전기는 사용자에게 CVD, PECVD, RIE 등의 고출력 치료를 수행할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한 고급 모니터링 및 진단 기능을 갖춘 고급 feedforward 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 모니터링 머신 (monitoring machine) 을 사용하면 보다 정확하고 정밀하게 플라즈마 매개변수를 조정하고 유지할 수 있습니다. 또한, APPLIED MATERIALS Endura II 원자로에는 무선 주파수 일치 네트워크와 외부 전압 스윕 기능이 포함됩니다. 이러한 기능은 서로 다른 프로세스 개발 활동을 위해 플라즈마 실험실 (Plasma Laboratory) 을 사용자 정의할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한, 원자로 (Reactor) 는 최첨단 사용자 인터페이스 도구와 통합되어 향상된 플라즈마 생산을 위해 작업 레시피를 신속하게 사용자 정의하고 조정할 수 있습니다. AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II 원자로는 정교한 사용자가 다양한 플라즈마 처리를 탐구 할 수있는 고급 기능 및 기능을 완벽하게 선택하여 제작하고 세련되었습니다. AKT 엔두라 II (Endura II) 사용자는 원자로의 혁신적인 기술과 동적 제어 (Dynamic Control) 를 활용하여 최고 해상도와 반복성을 달성 할 수 있습니다.