판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315104

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9315104
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2017
Metal PVD system, 12" 2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II 원자로는 반도체 장치 생산에서 최첨단 솔루션입니다. 이 원자로는 강력한 질화물 및 유전체 필름을 개발하기위한 2 단계 비활성 가스 샤워 공정을 특징으로합니다. 이 프로세스는 디바이스 성능 및 안정성을 향상시키는 한편, 결함도 줄여줍니다. 원자로는 고효율 열 관리 장비 (HPM) 를 사용하는데, 이 장비는 머시닝 (Machining) 환경에 맞추어 정밀한 프로세스 제어를 가능하게 합니다. 이 기술은 전체 기판 표면에서 균일 한 온도를 달성하는 데 도움이되며, 이를 통해 증착 및 에칭 결과를 최적화할 수 있습니다. 원자로에는 고급 컴퓨터 제어 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 연산자는 원자로 설정에 쉽게 액세스하고, 최적의 결과를 위해 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. AKT Endura II 원자로는 고효율 난방 시스템을 활용하는 고류 속도로를 가지고 있습니다. 이 "가스 '는 기질 표면 을 가로지르는 균일 한 온도 를 유지 하면서, 그 과정 에 신속 하고 효율적 인 뜨거운" 가스' 를 전달 한다. 이 디자인은 열 구배를 줄이고 기판에 대한 증착 균질성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 게다가, 효율적 인 "가스 '사용 은 원자로 수명 에 걸쳐서 작동 비용 이 낮다. AMAT 엔두라 II (Endura II) 에는 플라즈마 강화 증착 중 입자 생산을 줄이는 데 도움이되는 저 방출 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 이를 통해 고품질의 다중 레이어 스택 (multi-layer stack) 프로세스를 최적화하면서 오염 위험을 최소화할 수 있습니다. 원자로는 또한 프로세스가 완료된 후 기질의 직접 냉각을 보장하기 위해 SLC (Substrate Landing Chamber) (옵션) 를 제공합니다. 또한 원자로에는 여러 현장 진단이 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 원자로 성능을 모니터링하고, 프로세스 가동 시간을 줄이고, 유지 관리 비용을 줄이는 데 도움이 됩니다. 전반적으로 Endura II 원자로는 최첨단 질화물 및 유전체 필름 증착 장치입니다. 이 기계는 고급 열 관리 및 플라즈마 소스와 여러 현장 진단을 제공합니다. 이 혁신적인 도구는 프로세스 제어 및 효율성을 향상시키는 동시에, 결함을 줄이는 데 도움이 됩니다. APPLIED MATERIALS 엔두라 II (Endura II) 원자로는 견고하고 안정적인 장치를 개발할 수 있는 탁월한 기능을 제공하여 반도체 장치 제작에 이상적인 제품입니다.
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