판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315103
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 기판의 금속 및 유전체의 강착을 위해 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 유형의 원자로는 반도체 소자 제조 (semiconductor device manufacturing) 에 일반적으로 사용되며, 정확한 두께와 온도에서 무결점 (flawless film of material) 을 만들 수 있습니다. AKT 엔두라 II (AKT Endura II) 는 다수의 맞춤형 구성 요소를 갖추고 있으며, 이를 통해 증착 프로세스를 특정 응용 프로그램에 최적화할 수 있습니다. AMAT Endura II는 2 구역 수직 배치 CVD 원자로입니다. 이 제품은 다양한 온도, 압력, 가스 유량 (gas flow rate) 하에서 작동하도록 설계되었으며, 특정 품질, 처리량, 비용 요구 사항을 충족하도록 구성될 수 있는 광범위한 프로세스 창을 제공합니다. 원자로의 이중 구역 (dual zone) 은 추기경으로 분리되어 있으며, 독립적으로 또는 동시에 작동 할 수 있으며, 증착 과정에서 더 다양한 기능을 가능하게한다. 이 점 은 "존 '길이 를 손 에 맞도록 조정 할 수 있다는 사실 에 의하여 더욱 강화 된다. AEt Endura II는 다양한 감지기 (susceptor) 를 사용하여 증착이 진행되는 동안 기판을 고정시킵니다. 이러 한 감지기 는 단일 "웨이퍼 ', 여러 개 의" 웨이퍼', 여러 가지 모양 과 크기 의 기판 을 담도록 설계 되었다. 또한 "엘리베이터 '를 조절 할 수 있으며, 기계 를 멈추지 않고도 공정 중 에" 엘리베이터' 를 적재 하거나 적재 할 수 있다. 또한 APPLIED MATERIALS Endura II는 최적의 작업자 안전을 보장하는 다양한 안전 기능을 제공합니다. 여기에는 비활성 가스 환경, 냉각되고 절연 된 내부, 가스 제어 시스템 (gas control system) 및 채널에 연결된 긴급 종료 장비 등이 포함됩니다. 이 장치에는 기체의 온도 및 흐름, 온도 초과 경보 (temperature-over-limit alarm) 및 원격 PC에 연결된 도구 제어 도구 (instrumental control tool) 를 제어하는 배기 기계도 포함됩니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 다양한 첨단 응용 프로그램에 안정적인 증착 결과를 제공 할 수있는 고도의 CVD 원자로입니다. 다양한 맞춤형 (customizable) 기능을 통해 프로세스를 정확하게 최적화할 수 있으며, 많은 안전 (safety) 기능을 통해 상업적 용도로 안전하고 안정적인 원자로 (reactor) 가 될 수 있습니다.
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