판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315097

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체 장치 제조를위한 종합적이고 내구성 있고 사용자 친화적 인 공정 도구를 제공하기 위해 설계된 단일 웨이퍼 원자로입니다. AKT Endura II는 고주파 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스, 빠른 펄싱 바이어싱 생성기 및 다중 에칭 하드웨어 구성과 같은 고급 기술을 사용하여 광범위한 장치 구조로 고품질 제작을 지원합니다. AMAT Endura II의 완전 통합 장비는 극저온 cryostat, 현장 운반 어셈블리, 원격 제어 시스템 및 고정 주파수 고주파 ICP 발전기로 구성됩니다. 이 조합은 저렴한 고성능 ICP 에칭 장치를 제공하여 기존 반도체 구성 라인에 쉽게 통합 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 엔두라 II (Endura II) 모듈식 설계를 통해 고객의 구성 라인의 요구를 충족하기 위해 손쉽게 확장하고 업그레이드할 수 있습니다. 시스템의 모든 구성 요소는 개별 고객의 요구에 맞게 구성할 수 있습니다. 프로세스 챔버 설계는 또한 다양한 프로세스 조건에서 균일 성을 에칭하도록 최적화되었습니다. Endura II의 고주파 ICP 소스는 레시피 유연성을 제공하며 에치 레이트, 에치 선택성, CD (임계 치수) 허용 한도 및 기타 필름 특성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. RF 바이어싱 생성기는 또한 에치 및 증착 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II의 인사이트 (in-situ) 휴대용 도구는 처리량이 높으며 단일 레벨 패턴화에서 다중 단계 프로세싱에 이르기까지 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 빠른 펄스 바이어싱 생성기는 에치 레이트 정확도 또는 프로세스 균일성을 손상시키지 않고 빠른 프로세스 시간과 뛰어난 CD 제어를 제공합니다. AKT Endura II는 또한 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스와 직관적인 경보 관리 (alarm management) 를 통해 사용자가 프로세스 시퀀스를 신속하게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 다양한 진단 툴 (diagnostic tools) 이 제공되며, 이를 통해 고객은 프로세스를 모니터링하고 분석하고 잠재적인 프로세스 문제를 파악할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT Endura II는 반도체 제작을 위한 포괄적이고, 내구성 있고, 사용자 친화적인 프로세스 도구를 제공합니다. 고주파 ICP 소스, 빠른 펄스 바이어싱 생성기 및 기타 기능을 통해 APPLIED MATERIALS Endura II는 고객이 정확하고 반복 가능하며 비용 효율적인 장치 제작을 달성 할 수 있습니다.