판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9314715

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 유전체 필름, 금속 및 실리사이드의 증착을 위해 설계된 PECVD 장비입니다. 이 시스템은 RTP 챔버에서 최대 400 ° C의 온도에서 4 "웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. AKT Endura II 원자로에는 전용 로드/언로드 스테이션과 기판 온도 및 레시피 제어가 가능한 보조 장비가 있습니다. 공정 챔버, 공정 헤드 및 기지국으로 구성됩니다. 공정 챔버는 석영 벽과 뚜껑이있는 8 인치 단일 웨이퍼 공정 챔버로, 실리콘, 절연 및 전도성 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 공정 챔버는 Turbo-Pump Turbo-V SignTM 펌핑 장치를 사용하여주기 시간 및 신뢰성을 향상시킵니다. 또한 반응 챔버 내부의 온도를 유지하기 위해 TemperFloTM 프로그래밍 가능한 온도 컨트롤러가 있습니다. AMAT Endura II 기계의 프로세스 헤드에는 기판 및 가공 가스에 에너지를 제공하는 5 개의 전극 세트가 포함되어 있습니다. 증착 반응에 제공된 총 전력은 6.75kW입니다. 헤드는 유연성 (Flexibility) 및 순차적 (Sequenced) 원자로 작동을 위해 설계되어 여러 프로세스 단계를 순차적으로 수행 할 수 있습니다. 엔두라 II (Endura II) 도구의 기지국은 모든 원자로 작동을위한 제어 패널 역할을합니다. 여기에는 레시피 제어, 온도 조절 및 가스 분배를위한 일련의 7 가지 프로그래밍 가능한 입력 및 모드가 포함되어 있습니다. 에셋에는 프로세스 작업 중 챔버 상태를 모니터링하는 CCD/카메라도 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II 원자로는 유전체 필름, 금속 및 실리사이드가 필요한 반도체 공정을 포함하여 다양한 응용 분야를 위해 설계된 고급 증착 도구입니다. 생산성이 높고 비용 효율적이며, 프로세스 엔지니어가 높은 수율과 최적화된 주기 (cycle time) 로 프로세스를 개발, 유지 관리할 수 있습니다.