판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9298482

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 가장 까다로운 마이크로 전자 처리 요구 사항을 위해 특별히 설계된 고급 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. AKT 엔두라 II (Endura II) 는 가장 발전된 원자로 중 하나로서, 뛰어난 온도, 필름 두께 및 스텝 커버리지 제어를 갖춘 매우 균일 한 필름을 생산할 수 있습니다. AMAT Endura II는 Ti/TiN 이중층의 박막 증착, 질화물 기반 금속 게이트 필름, 고급 CMOS 및 반도체 응용을위한 황 필름과 같은 매우 복잡하고 정밀한 프로세스에 이상적입니다. 엔두라 II (Endura II) 의 주요 특징으로는 다기능 소스 삽입, 가스 및 챔버 온도의 정확한 제어, 최고의 프로세스 균일성 및 수율을 보장하는 고급 프로세스 모니터링 시스템 등이 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II (APPLIED MATERIALS Endura II) 는 탁월한 프로세스 유연성을 제공하여, 특정 응용 프로그램 및 기판 모양 및 크기에 따라 가스 유속, 기판 온도, 마스킹 포인트와 같은 프로세스 매개변수를 수정할 수 있습니다. 이것은 알루미늄 (Al), 텅스텐 (W) 또는 금 (Au) 을 포함한 다양한 기판 유형에 대해 균일 한 필름 증착을 보장합니다. 장비의 최첨단 로봇 처리 시스템 (State-of-the-art robotics handling system) 은 또한 장치가 처리 실에 정확한 양의 가스를 전송하고 확장 된 수명주기에 안정적으로 분배할 수 있도록 지원합니다. 고급적이고 혁신적인 디자인 덕분에 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 뛰어난 반복성, 프로세스 안정성 및 입자 제어를 제공합니다. 기계의 가스 입구 분산 도구 (gas inlet distersal tool) 는 기판이 공정이 실행 될 때마다 동일한 가스 프로파일 (gas profile) 을 볼 수 있도록 지속적으로 고성능 수준에서 가스 전달을 보장합니다. AKT Endura II는 또한 견고한 밀봉형 주택을 갖춘 견고한 쿼츠 챔버 (quartz chamber) 디자인을 갖추고 있으며, 뛰어난 프로세스 반복성과 뛰어난 프로세스 제어를 제공합니다. 고급 열 관리 자산을 갖춘 AMAT 엔두라 II (Endura II) 는 기판과 웨이퍼 모두에 대한 정확한 온도 제어를 가능하게합니다. 엔두라 II (Endura II) 는 수직 캐스케이드 난방 모델을 사용하여 상하에서 상하로 정밀하고 균일 한 챔버 온도를 허용합니다. 이것은 기질의 모든 부위에서 균질 한 온도와 균일 한 증착을 보장합니다. 또한 APPLIED MATERIALS Endura II의 멀티 존 (multi-zone) AccuHeat 장비를 사용하여 더욱 정확한 온도 제어를 할 수 있습니다. 탁월한 성능과 고급 프로세스 제어를 결합한 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체 및 MEMS 업계에서 오늘날 가장 까다로운 정밀 CVD 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다.