판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9274814
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ID: 9274814
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
MOCVD System, 12"
EFEM
TM
TxZ
(2) PCII
(2) IMP
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 고급 재료 생산에 사용되는 최첨단 원자로입니다. 고출력, 저결함 밀도 필름, 코팅 (coating) 의 생산을 위해 설계되었으며, 다양한 산업 분야에서 적용 할 수 있습니다. AKT Endura II는 e- 빔, 열 증발, 스퍼터링 등 여러 생산 챔버, 소스 재료 및 성장 과정을 결합한 병렬 처리 진공 증착 도구입니다. 증착 속도, 산화물 두께, 산화물/금속 비율, 광학 상수 분포를 광범위한 파장 및 입사각에 걸쳐 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 AMAT Endura II는 프로세스 모니터링에 2 차 이온 질량 분석법 (SIMS) 을 사용하고 필름 특성화에 광학 분광법을 사용합니다. 또한 고급 자동화, 진공 게이지, 디지털 컨트롤러 및 데이터 통신 포트가 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II에는 최대 4 인치 직경 또는 최대 6 인치 직경의 기판을 확장 된 비품으로 처리 할 수있는 20 챔버 클러스터가 있습니다. Endura II 원자로는 높은 수준의 프로세스 유연성과 뛰어난 균일 성을 자랑합니다. 챔버-챔버 온도 균일성은 C 도의 1/4 미만이며, 증착율 균일성은 기존 배치 증발기의 최대 6 배입니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II의 프로그래밍 가능한 증착 프로세스와 개별 클러스터의 매개 변수를 인코딩하는 기능은 특수 프로세스 노드를 현실로 만듭니다. AKT Endura II는 향후 업그레이드를 위한 모듈식 설계, 운영 및 유지 보수 비용 절감, 기존 프로세싱 시스템에 비해 탁월한 비용 효율성 등 다양한 이점을 제공합니다 (영문). 또한 확장 가능한 처리량을 통해 AMAT 엔두라 II (Endura II) 는 기판 수 및 총 프로세스 시간 측면에서 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 요약하면, APPLIED MATERIALS Endura II는 생산 유연성과 최소 결함을 위해 설계된 최첨단 고 처리량 원자로입니다. 업계 최고의 기능을 갖춘 엔두라 2 세 (Endura II) 는 여러 산업 응용프로그램의 고급 소재를 생산할 수 있는 안정적이고 강력한 도구입니다.
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