판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270654

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체 제조에 사용되는 원자로입니다. AKT 및 AMAT에서 개발 및 제조 한 엔두라 (Endura) 시리즈 원자로의 최신 모델입니다. AKT Endura II는 PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) 원자로이며, 반도체 기판에 박막 코팅을 입금하는 데 사용됩니다. 원자로는 공정 챔버 (Process Chamber) 와 터보 펌프 (turbo pump) 가 원자로 본체 내에 통합 된 독특한 디자인을 특징으로합니다. 이를 통해 컴팩트하고 효율적인 설계가 가능하므로 설치 영역이 최소화됩니다. AMAT Endura II는 반도체 기판에 다른 화학 물질 및 여과 매체를 사용하여 다양한 코팅 (coating) 을 배치하도록 설계되었습니다. 또한 광범위한 공정 가스 화학 물질을 제공합니다. 원자로는 최대 6 인치 (15.2cm) 의 기판을 처리 할 수 있으며 최대 처리 속도는 2000 웨이퍼/시간입니다. Endura II는 원격 시스템 모니터링을 위해 장착 된 고급 소프트웨어도 갖추고 있습니다. 자세한 보고서와 경고를 제공하여 프로세스 제어 및 최적화를 보장합니다. 또한, 원자로는 타원법, 반사 측정 및 x- 선 반사 측정을 포함한 다양한 공정 후 측정과 호환됩니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 컴퓨터 제어, 자동화 알고리즘으로 연결된 통합 펌프, 공정 챔버 및 기타 구성 요소로 구동됩니다. 이것은 기판에 대한 열 손상 위험을 줄이면서 최고의 온도 및 증착 균일성을 보장합니다. 원자로는 또한 공정 챔버 (process chamber) 를 빠르고 효과적으로 청소하여 공정이 지속적으로 최적화되도록 허용합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 정확한 증착 및 공정 제어가 필요한 반도체 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 다용도, 고품질 PECVD (PECVD) 원자로가 필요한 사람들을 위해 비용 효율적이고, 안정적이며, 기술적으로 진보된 솔루션을 구성합니다.