판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270653

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 기판에 다양한 물질의 얇은 층을 형성하는 데 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 원자로는 가열 된 챔버 (heated chamber) 에서 지원 및 이동 부품 (supported and transfer component), 컴퓨터 제어 전기 장비로 여러 개의 "층" 으로 구성됩니다. 가열 된 챔버는 AKT Endura II 원자로의 핵심입니다. 내부 및 외부 챔버가있는 원통형 스테인리스 스틸 컨테이너입니다. 외벽은 온도를 유지하기 위해 단열재 (insulation) 로 늘어서 있으며, 내벽에는 히터 (heater) 역할을하는 세라믹 서셉터 (ceramic susceptor) 가 늘어서 있습니다. 감수기는 최대 1200 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 재료 레이어의 다른 두께를 형성하도록 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 방에는 하나 이상의 특수 가스 입구 (gas inlet) 가 포함되어 있어 증착 공정에 사용되는 화학 물질 및 가스를 도입 할 수 있습니다. AMAT 엔두라 II (Endura II) 의 지원 및 전송 메커니즘은 챔버 안팎으로 효율적이고 안정적인 기판 이동을 위해 설계되었습니다. 일반적으로 챔버 (chamber) 의 반대편에 위치한 트랙 테이블 (track table) 에는 챔버 (chamber) 와 트랙 테이블 (track table) 사이에 기판을 빠르게 전송하기위한 롤러 시스템이 있습니다. 공정 "가스 '의 반응 농도, 온도, 압력 및 흐름 은 모두 전자 로 감시 되고 조절 된다. APPLIED MATERIALS Endura II는 하이브리드 직류/무선 주파수 전원 장치에서 작동합니다. 이 기계는 증착 과정 (deposition process) 을 더 잘 제어하여 연산자가 형성된 레이어의 온도, 균일성, 두께를 정확하게 조정할 수 있도록 합니다. 내부 컴퓨터 도구는 전류 (electrical current) 와 전압 (voltage) 을 모니터링하고 조절하며, 플러그 온도, 챔버 압력, 퇴적된 레이어 매개변수 등 자산 변수를 모니터하고 기록합니다. Endura II 원자로는 고온 강착 층 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 금속-반도체, 금속-절연체, 실리콘-유전체 등 다양한 층의 재료를 생산할 수 있으며, 각각 균일성과 선택성이 우수합니다. 원자로의 고급 전기 모델 (Advanced Electrical Model) 은 레이어 형성에 대한 정확한 제어를 가능하게하여, 연산자가 단시간 내에 잘 정의 된 재료 레이어를 만들 수있게한다.