판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270650

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor는 반도체 제조 및 조립을 위해 설계된 공정 챔버입니다. 광사 에칭 (photoresist etching), 금속 에치 (etch of metal), 유전체 및 기타 재료, 박막 증착 등 다양한 응용 분야에 사용됩니다. AKT Endura II는 멀티 챔버 장비로, 동일한 원자로에서 여러 프로세스를 실행할 수 있습니다. 원자로는 섭씨 800 도까지 확장 된 작동 온도를 위해 설계되었으며, 매우 균일하고 제어 가능한 공정 매개변수를 제공 할 수 있습니다. 내장형 다이렉트 뷰 (direct view) 플라즈마 소스를 통해 프로세스 결과를 반복적으로 제어할 수 있습니다. 원자로는 또한 다른 공정에 정확한 가스 혼합물을 제공 할 수있는 고순도 가스 공급 시스템 (high purity gas supply system) 을 특징으로합니다. AMAT Endura II에는 모듈 식 컨트롤러가 있으므로 원자로 매개 변수를 쉽게 재구성 할 수 있습니다. 따라서 다른 재료 및 응용 프로그램에 대한 특정 프로세스 요구 사항에 따라 프로세스 챔버 (process chamber) 를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 프로세스 챔버 압력, 온도, 유량 등 다양한 프로세스 제어 입력이 특징입니다. 원자로는 프로세스 환경을 모니터링하고, 제어할 수 있어, 전체 공정을 정확하게 제어할 수 있습니다. Endura II에는 가스 안전 차단 및 가청 경보를 포함한 수많은 안전 기능이 있습니다. 또한 압력 아래 있는 동안 원자로 가 열리지 않도록 하는 경비원 (guard) 과 약실 내 에 과압 (excess pressure) 을 방출 할 수 있는 외부 통풍구 (external vent unit) 도 포함 된다. APPLIED MATERIALS Endura II는 효율적이고 신뢰할 수있는 원자로로, 고품질 공정 결과와 일관된 재료 처리를 제공합니다. 광범위한 응용 프로그램으로, 여러 반도체 프로세스에 이상적인 기계입니다.