판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9251715

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 박막 코팅의 연구, 개발 및 상업적 생산을 위해 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. AKT Endura II 원자로는 얇은 금속 및 유전체 필름뿐만 아니라, 마이크로 전자, 광전자 및 마이크로 시스템 장치에 대한 화합물 반도체 및 기타 고급 재료를 증착하는 데 사용될 수 있습니다. AMAT Endura II는 모듈식 디자인의 열적으로 견고한 대규모 산업 규모의 CVD 원자로입니다. 챔버의 치수는 40 "x 50" (101.6 cm x 127 cm) 이며 최대 30 "x 38" (76.2 cm x 96.5 cm). 일반적인 공정 압력 범위는 1 Torr ~ 10 Torr이며 온도는 섭씨 25도에서 섭씨 1000도에서 프로그래밍 할 수 있습니다. 독특한 이중 나선 샤워 헤드 디자인은 -10 nm/도의 섭씨 온도 및 압력 변화를 통해 높은 균일성과 공정 반복성을 보장하며, 화학량 론적 제어 (stoichiometry control) 및 높은 증착률을 초래합니다. APPLIED MATERIALS Endura II에 통합 된이 기술은 고정밀 기판 가열, 균일 한 가스 분포, 효율적인 가스/화학 사용 및 정확한 공정 제어를 가능하게합니다. CSIM (Chemical Source Introduction Module) 을 사용하여 사전 혼합 형태와 유연한 가스 배달에서 99.999% 의 순수 공정 가스를 도입하여 화학 물질의 완전한 활용을 보장하고 공정 비용을 절감합니다. 또한, 지능형 ACS (Automated Control System) 는 핵심 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 제어하여 필름 결함을 줄입니다. Endura II는 아크 탐지 제어, 진공 연동 및 더블 빔 광학 피로미터 (optical pyrometer) 를 제공하여 안전을 극대화하도록 설계되었습니다. 또한, 저진동 냉각 펌프는 공정 챔버 (process chamber) 가 작동 중에 가열되지 않도록 방지하여 안전 위험 (safety hazard) 의 위험을 줄입니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 박금속 및 유전체 필름의 강력한 생산을위한 고급 공정 제어 기능과 복합 반도체 및 기타 고급 재료를 갖춘 신뢰할 수있는 고성능 CVD 원자로입니다.