판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9236846

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II 원자로는 반도체 장치 제조에 사용되는 차세대 에치 처리 장비입니다. 정밀 (precision) 기능을 갖춘 장치를 달성하기 위해 다양한 기판에서 재료를 효율적으로 제거하도록 설계되었습니다. AKT Endura II는 넓은 영역 기질에 대해 매우 균일 한 물질 증착을 제공 할 수있는 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 원자로입니다. 고급 기능에는 균일성을 향상시키는 멀티 존 쇼어 헤드 디자인, 멀티 스테이지 열 업/쿨 다운 장비, 빠른 어닐링 기능 및 실시간 레시피 편집이 포함됩니다. 또한 실시간 프로세스 데이터, EOL (End-of-Run) 데이터 등 다양한 프로세스 모니터링 기능을 갖추고 있습니다. AMAT Endura II는 또한 정밀 기능 정의를 위해 다양한 다른 증착 및 에칭 시스템을 갖추고 있습니다. 엔두라 II (Endura II) 는 실리콘, 인화 인듐, 갈륨 비소, 사파이어 및 기타 III-V 물질을 포함한 다양한 기질로부터 매우 균일 한 금속 산화물 및 질화물 에칭을 제공하도록 특별히 설계되었다. 약실 은 열 을 기판 에서 "가스 '원 으로 빠르게 전달 하도록 설계 되었다. 이를 통해 에치 속도가 높으며, 이는 높은 해상도 기능으로 이어집니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 담요 영역과 계단 에치 기능을 모두 가져올 수 있습니다. 담요 영역 에치 속도는 최대 200 nm/min이고 스텝 에치 속도는 최대 400 nm/min입니다. 이 "시스템 '은 식각원 의 농도 와 기판 으로부터의 거리 에 민감 하다. 에칭은 터보 분자 진공 펌프에 의해 생성 된 높은 진공 조건에서 수행됩니다. 이 장치에는 에치 (etch) 프로세스를 사용자 정의하기 위해 조정할 수있는 안전 기능도 장착되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 최소 결함으로 고품질 표면 마무리를 달성 할 수 있습니다. 에치 프로세스는 또한 최소 수직 측면 벽 기울기와 균일 한 깊이를 초래합니다. 이 기계는 또한 매우 유연하며, 유지 보수 및 업그레이드가 용이하도록 설계되었습니다. 이 도구는 3D 구조, 마이크로 머시닝, 트릴레이어 에칭 등 다양한 응용 프로그램에 적용 될 수 있습니다. AKT 엔두라 2 세 (Endura II) 는 또한 뛰어난 성과 기록을 가지고 있으며 업계에서 가장 높은 수율을 달성했습니다.