판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9235247

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9235247
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Systems, 12" Process: Metal 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor는 최첨단 박막 기술을 제작하기위한 최첨단 기능을 제공하기 위해 특별히 설계된 듀얼 챔버 에치 및 증착 장비입니다. 이 시스템은 광범위한 리서치 애플리케이션 (Research Application) 에 적합하므로, 사용자가 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 방식으로 최고 수준의 성능을 얻을 수 있습니다. AKT Endura II Reactor는 두 개의 반대 반응 챔버 (에칭을위한 상실, 증착을위한 하단 챔버) 가있는 2 단계 디자인을 갖추고 있습니다. 2 개의 챔버 (chamber) 의 고유한 배열은 독립성을 유지하여 프로세스 호환성, 제어 및 균일성 (unifority) 의 최대 유연성을 보장합니다. 또한, 각 챔버에는 자체 진공 펌프가 있어 격리 된 펌핑 및 정밀 압력 제어가 가능합니다. AMAT Endura II Reactor (AMAT Endura II Reactor) 에는 최고 품질의 구성 요소가 장착되어 있어 입자가 적고 플라즈마 수준의 제어가 높은 장치를 제공합니다. 이 원자로는 자동 조정, 자동 잠금 (auto-tuning) 및 디지털 오버 드라이브 기능을 갖춘 고속 디지털 제어 머신 (digital control machine) 을 갖추고 있어 반복 가능하고 안정적인 프로세스 결과를 제공합니다. 또한 APPLIED MATERIALS Endura II는 개방형 플랫폼이므로 다른 장비 및 지원 시스템과 쉽게 통합 할 수 있습니다. Endura II Reactor에는 고급 로드 락 챔버 (load-lock chamber) 가 장착되어 있어 대형 웨이퍼를 쉽게 처리 할 수 있습니다. 로드 락 (load-lock) 은 웨이퍼를 트랜스퍼 암 (transfer arm) 에 재배치하여 반응 챔버에 쉽게 배치하고, 최적의 성능을 위해 높은 수준의 온도 안정성과 균일성을 유지합니다. 또한, 웨이퍼 지지대는 플라즈마 (plasma) 와 균일 한 증착 (uniform deposition) 의 분포를 위해 최고 수준의 전기 부지와 전하를 제공하도록 설계되었습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor는 가장 기술적으로 진보 된 에치 및 증착 프로세스를 수행 할 수있는 효율적이고 안정적이며 반복 가능한 플랫폼을 제공합니다. 이 도구는 고품질 구성 요소와 제어 시스템 (Control System) 을 통해 균일하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 오픈 플랫폼 (open platform) 과 로드 잠금 (load-lock) 설계를 통해 다른 장비 및 지원 시스템과 손쉽게 통합할 수 있습니다. AKT Endura II 원자로는 현대 제작 응용 분야에 이상적인 선택입니다.
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