판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9235244

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 연구 제품 및 장치 개발을 위해 설계된 통합, 자동화 된 열/공정 원자로입니다. AKT Endura II는 반도체, MEMS, 박막, 태양 광, 고급 도자기, 나노 와이어 및 일반 증착 응용 프로그램을 포함한 다양한 프로세스를 위해 설계되었습니다. AMAT Endura II는 최대 4 "웨이퍼 크기로 처리하기위한 모든 기능을 갖춘 도구입니다. 또한 polysilicon, palladium silicide, nickel silicide, boron nitride 등을 포함한 광범위한 재료로 처리 할 수 있습니다. 이 장비는 빠른 기판 전송, 최대 유연성, 빠른 열 복구 시간을 제공하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 아르곤, 질소, 암모니아, 산소, 수소 및 메탄을 포함한 광범위한 비활성, 환원 및 반응성 주변 가스로 작동 할 수 있습니다. Endura II에는 고해상도 터치스크린 인터페이스가 장착되어 있어 프로세스 엔지니어가 매개변수, 레시피, 통신 시스템에 액세스 할 수 있습니다. 직관적인 그래픽 도구를 통해 더 쉽게 매개변수 관리, 보다 효율적인 프로세스 설계를 수행할 수 있습니다. 이 인터페이스는 Cloud 소프트웨어와 상호 연결되어 최신 프로세스 레시피 및 SSL 패라메트릭 레시피에 액세스 할 수 있습니다. 또한 이벤트 로깅 (Event Logging) 및 데이터베이스 스토리지 (Database Storage) 를 통해 실시간 데이터 컴파일 및 분석을 수행할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 고정밀 방사형 드라이브가 가능한 고급 방사형 서셉터로 설계되었습니다. 서셉터는 두꺼운 필름 동적 프로세스 제어 및 외부 압력 테이블이있는 저압 언로드 처리 챔버 (low-pressure unloaded process chamber) 에서 작동합니다. AKT Endura II는 또한 독특한 장수 웨이퍼 셔틀 및 그리퍼 메커니즘을 갖춘 고급 웨이퍼 인식 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 5-L/min 액체 질소 냉각기로 작동하며 최대 1200 와트의 입력 전력을 작동 할 수 있습니다. AMAT Endura II는 중복 게이트 밸브, 과압 차단 밸브, 충돌 방지 (anti-collision) 보호 및 다중 안전 인터 록과 같은 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Endura II에는 2 개의 RF 발전기가 장착되어 있으며, 휴식 없이 여러 기판 실행이 가능합니다. 엔두라 II (Endura II) 는 향상된 수율 및 빠른 주기 시간으로 프로세스를 최적화하는 고성능, 비용 효율적인 도구입니다.