판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9231996

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 CMP (화학 기계 평면 화) 공정의 성능을 향상시키기 위해 설계된 원자로입니다. 이 원통형 장비는 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 만들어졌으며 내구성과 안정성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 원자로는 열 질량이 낮은 설계 (low thermal mass design) 를 특징으로하며, 원자로가 예열되거나 식지 않고도 온도를 빠르고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 하단 히터 (bottom heater) 요소와 상단 열린 데크 (top open deck) 의 정확한 온도 제어를 허용하면서 모두 가능합니다. AKT Endura II는 라미나 흐름 설계 원리를 사용하여 기판 표면에 균일 한 온도 분포를 생성하는 CMP 반응 챔버를 가지고 있습니다. 이것은 균일 한 프로세스를 보장하고 결함을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한 챔버 (chamber) 에는 정확한 다중 계층 재료 평면 화를하도록 설계된 확산 모드 웨이퍼 캐리어가 포함되어 있습니다. 원자로의 웨이퍼 캐리어는 또한 일관된 결과를 위해 간단한 기계식 웨이퍼 로딩을 제공합니다. AMAT Endura II에는 안전하고 효율적인 프로세스를 보장하는 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 뚜껑이 닫힐 때 제자리에 고정되는 fail-safe lid 메커니즘이 특징입니다. 이는 가동 중 유해 물질의 누출을 방지하고, 원자로 및 그 탑승자에게 여분의 안전층 (layer of safety) 을 제공한다. 원자로에는 또한 어디서나 원자로 (reactor) 의 원격 작동이 가능한 사용자 인터페이스가 있습니다. 이를 통해 운전자는 원자로 실에 들어가지 않고도 공정을 주시할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 APPLIED MATERIALS Endura II는 CMP 성능을 향상시키고 고해상도를 달성하는 데 적합한 옵션입니다. 원자로의 CMP 반응 챔버 (CMP reaction chamber) 는 정밀하고 균일 한 공정을 생성하도록 설계되었으며, 안전 기능은 안전하고 효율적인 작동을 보장합니다. 원자로 (reactor) 는 사용자 인터페이스를 통해 모니터링 프로세스를 쉽고 편리하게 합니다.