판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9225567

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 산업용 반도체 등급 처리를 위해 특별히 설계된 최첨단 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 이 원자로 (reactor) 는 다양한 필름 두께에서 고급 절연 및 전도성 재료의 매우 균일 한 증착을 가능하게한다. AKT 엔두라 II (Endura II) 는 독특한 개방형 원자로 플랫폼을 통해 뛰어난 온도 조절, 정확한 가스 흐름 및 압력 제어, 강력한 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. AMAT Endura II는 특정 고객 애플리케이션에 적합한 고품질 증착을위한 플랫폼을 제공합니다. 효율적인 플라즈마 소스 옵션은 낮은 전력 소비와 빠른 증가를 위해 설계되었습니다. 또한, 고객의 프로세스 매개변수에 쉽게 조정할 수있는 고급 가스 배송 시스템 (Advanced Gas Delivery System) 은 PECVD의 복잡성을 단순화하고 CVD 코팅의 균일성을 보장합니다. 엔두라 II (Endura II) 의 수직 핫 월 챔버는 향상된 온도 균일성과 필름의 균일 한 증착을 제공합니다. 상하 전극 (top and bottom electrode) 은 온도 조절에 사용될 수 있으며, 이는 최적의 성능을 위해 표면 온도 프로파일을 조정하기 위해 독립적으로 프로그래밍 될 수 있습니다. 또한, 멀티 존 냉각 플랫폼은 웨이퍼 온도 분포의 균질성을 보장합니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 높은 수율 및 균일성을 위해 처리 체제를 반복 할 수있는 사용하기 쉬운 프로세스 레시피를 제공합니다. 빠르고 쉬운 프로세스 설정 및 최적화를 위한 통합 Endura/Applied Process Control Software도 안정적이고 반복 가능한 성능을 보장합니다. 이 소프트웨어는 프로세스 결과의 신속한 실시간 최적화를 위한 사전 조건 모듈 (Preditioning Module) 과 낮은 수준의 불순물 농도를 충족하는 Low Vacuum Etch 모니터링 모듈 (Low Vacuum Etch Monitoring Module) 을 포함한 여러 모듈로 구성됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 신뢰할 수 있는, 장기 운영 및 제품 가치 극대화를 위한 서비스 수명을 위한 강력한 제조 표준으로 만들어졌습니다. '신뢰성' 과 '경쟁력' 은 반도체 업계에 건전한 기여를 합니다. 이러한 신뢰성은 시장에서 사용 가능한 최고의 CVD 원자로 중 하나입니다.