판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9205044
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ID: 9205044
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
PVD System, 12"
(3) Scanners
(3) Racks
CVCF Rack
(3) Monitor racks
Front monitor rack
System component information:
Factory information:
FFU Type: Thin type
(3) POD
FLEX 4 Controller long type
Light curtain
Signal tower: 3 Colors
Robot type: YASAKAWA AT Robot
Pass through option: (2) Slots
Degas chamber information:
(2) Chambers
Chamber type: Standard
Cryo pump: IS-8F
Chamber A&B information:
Chamber A: Pass
Chamber B: Cool
Lid type: Clear
Buffer & transfer information:
Robot type: XP
RGA Option: No
Cryo pump: IS-8F
LCF Amplifire:
(14) Buffer
(12) Transfer
Chamber 1:
Process type: ALPS Co
Adapter: 0040-62882
Spacing: 225 mm
Weldment type: Old type
MFC:
UFC 8565C-AR 150 sccm
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
Chamber 2:
Process type: Ni-10at%Pt
Adapter: 0041-02309
Weldment type: Old type
MFC:
UFC 8565C-AR 100 sccm
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
Chamber 3:
Process type: TTN
Magnet: DURA
Adapter: 0040-80367
MFC:
UFC 8565C-AR 100 sccm, Process
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
UFC 8565C-N2 200 sccm, Process
Chamber 4:
Process type: SIP TiN
Adapter:
0040-62877 Bottom, SIP TTN
0040-76943 Upper, SIP TTN(3L)
MFC:
UFC 8565C-AR 50 sccm, Process
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
UFC 8565C-N2 100 sccm, Process
Chamber 1 / 2 / 3 / 4:
Controller tower type: CCT
Heater type: ESC
Gate valve type: Old type 3 pos
Cryo pump: IS-BF
Shutter option
Sub rack:
Load center rack
(3) Equipment racks
(2) Heater exchangers
Heater exchanger type: SMC Thermo chiller INR-498012D-X007
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II 원자로는 고급 리소그래피 및 반도체 응용 프로그램을 가능하게하도록 설계된 고급, 고급 기술, 고온 PCVD 처리 장비입니다. AKT Endura II 원자로는 초박층 코팅, 침착 및 확산이 가능한 독점적 인 고온 PCVD 프로세스를 기반으로합니다. 이 시스템에는 높은 처리량을 제공하는 고출력 음극이 포함되어 있습니다. 정확한 프로세스 제어를 위한 다차원 가변 주파수 변조기; 웨이퍼 블랭킹 및 고정밀 질소/산소 퍼지 관리를위한 큰 목표 영역; 정확한 웨이퍼 두께 제어를 위해 컴퓨터로 제어되는 리프트 오프 장치. 이 기계에는 또한 강화 된 기질 필름 접착을위한 고온 PCVD 공정과 결합 될 수있는 강력한 플라즈마 처리 (plasma treatment) 작업이 포함되어 있습니다. 이 공구 는 온도 범위 가 커서, 얇은 층 의 증착, 금속 의 확산 등, 여러 가지 응용 에 사용 할 수 있다. "뉴우요오크 '는 이렇게 말 한다. AMAT 엔두라 II (Endura II) 원자로는 또한 뛰어난 웨이퍼 블랭킹 능력을 제공하며, 프로세스 능력은 최소 인간 개입으로 최고 수준의 정밀도를 충족 할 수 있습니다. 최대 처리량 및 정밀도를 보장하기 위해 엔두라 II (Endura II) 원자로에는 박막 증착 공정을 정확하게 제어 할 수있는 강력한 가스 피드 (gas feed) 자산이 장착되어 있습니다. 이 가스 피드 (gas feed) 모델에는 필요한 결과를 얻기 위해 장비가 다른 온도에서 작동 할 수있는 열 업 (heat-up) 모드가 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II 원자로의 특정 프로세스 기능 외에도, 고급 데이터 로깅 및 수집 기능도 갖추고 있습니다. 이 시스템은 밀리초 정밀도의 복잡한 데이터 포인트를 플롯할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 프로세스를 더욱 사용자 정의할 수 있도록 PC 기반 소프트웨어 응용 프로그램 AKT와 함께 작동하도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 엔두라 II (Endura II) 원자로는 가장 까다로운 어플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 안정적이고 정확한 성능을 제공하는 잘 둥근 고급 장비입니다. 강력한 음극, 가스 흐름, 온도 제어 능력, 광범위한 데이터 로깅 및 수집 기능 덕분에 AKT 엔두라 II (Endura II) 원자로는 모든 PCVD 처리 응용 프로그램에 적합합니다.
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