판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9200871

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ID: 9200871
빈티지: 2012
PVD System 2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 가장 까다로운 반도체 애플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 증착 도구입니다. AKT Endura II는 단일 레이어 (모놀레이어) 시스템에서 다중 레이어 (벌크) 시스템에 이르기까지 다양한 구성으로 박막 재료를 생산할 수 있습니다. TCO (총소유비용) 를 낮추고 최고 수준의 정밀성과 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT Endura II는 여러 챔버를 사용하여 최대 8 개의 스택을 지원하는 클러스터 유형 증착 시스템입니다. 이들 스택에는 각각 전극으로 분리 된 3 개의 다른 반응 챔버가 포함되어 있습니다. 이 챔버는 공통 매니 폴드 (manifold) 와 RF 생성기 (generator) 를 통해 함께 연결되어 그 과정에서 최적의 증착을 제공합니다. 챔버는 PECVD, MOCVD, ANPECVD, VBFET 및 ALD와 같은 광범위한 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. Endura II는 고성능 ALD (Multi-Blade Atomic Layer Deposition) 생산 모듈을 사용하여 업계 최고의 처리량을 제공합니다. 또한 다중 계층 프로세싱 및 초고해상도를 위한 향상된 용광로가 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Endura II (APPLIED MATERIALS Endura II) 는 고급 프로세스 제어 시스템으로 구성되어 사용자가 배치 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정할 수 있도록 합니다. 이렇게 하면 증착이 전체 프로세스 동안 정의된 대상 매개변수 (target parameters) 내에 유지됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 산업 어플리케이션을 위해 강력하고 비용 효율적이며 효율적인 증착 시스템으로 설계되었습니다. 이 도구에는 운영자 안전을 보장하는 일련의 고급 안전 (Advanced Safety) 기능이 포함되어 있습니다. 또한 모듈식 설계를 통해 유지 보수 및 업그레이드가 간편합니다. AKT 엔두라 2 세 (KT Endura II) 는 반도체 산업의 증가하는 요구를 충족시키기 위해 설계된, 시장에서 가장 강력한 증착 시스템 중 하나입니다. 이 제품은 효율적이고 안전한 방식으로 다양한 증착 (deposition) 프로세스에 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다.
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