판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9198082

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor는 고품질 전자 재료의 빠른 생산을 위해 설계된 최첨단 생산 수준 화학 증기 증착 장비입니다. 이 원자로는 상업용 규모의 생산이 가능하며 업계 최고의 ATE (Atmospheric Thermal Enclave) 를 갖추고 있으며, 탁월한 균일성과 뛰어난 제품 수율을 제공합니다. ATE 시스템은 가스, 난방 및 냉각을 정확하게 제어하는 4 개의 독립적 인 전자 난방 영역을 사용합니다. 이는 최대 120 ° C의 균일 한 온도와 분당 최대 60 리터 (L/min) 의 가스 유량을 보장합니다. 또한 ATE 장치 는 증착 과정 을 최적화 하기 위하여 반응 "가스 '의 농도 가 계속 다양 하며, 그 결과 금속, 산화물, 질화물 을 포함 한 매우 다양 한 물질 의 질 이 가장 높다. AKT Endura II Reactor에는 3 차원 최종 상태 프로파일링도 있습니다. 이 고유 한 기능은 우수한 균일 제어 기능을 갖춘 계단식 히터 시스템을 사용합니다. 이를 통해 사용자는 소프트 램프 (soft ramps) 를 주변 조건으로 설정하여 정확한 온도 요구에 맞게 최종 (end-state) 프로파일을 설정할 수 있습니다. 별도의 물질의 병렬 증착을 위해, AMAT Endura II 원자로는 또한 2 개 이상의 원자로 사이에 가스 흐름을 분할하기위한 최대 4 개의 기계적 분할기를 포함한다. 이것들은 독립적 인 온도 조절을 제공하여, 원자로 (reactor) 가 한 번에 수십 가지의 다른 물질을 생성 할 수있게한다. APPLIED MATERIALS Endura II Reactor는 또한 비활성 및 반응성 흐름을 모두 제어 할 수있는 온보드 질량 흐름 제어 머신을 갖추고 있습니다. 공정 챔버 압력을 트리밍하기 위해 4 개의 고정밀도 질량 흐름 컨트롤러와 압력 제어 밸브 (pressure control valve) 를 사용합니다. 온보드 반응물 혼합 도구 (On-board reactant blending tool) 를 사용하면 가스의 반응 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 엔두라 II 반응기 (Endura II Reactor) 는 나노 스케일에서 미크론 스케일까지의 다양한 물질에 대한 뛰어난 입자 크기 분포 제어를 보장합니다. 원자로 내부의 여러 위치에서 샘플을 자동으로 수집하는 자동 샘플러 (auto-sampler) 가 특징입니다. 이렇게 하면 생산되는 재료의 품질에 대한 특성 데이터 (characleization data) 를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor는 상업 규모의 생산 수준에서 뛰어난 품질 제어를 통해 광범위한 재료를 생산할 수있는 첨단 최첨단 자산입니다. 이 모델은 생산량이 가장 높고, 생산된 재료가 가장 높은 품질 (Quality) 표준을 충족하도록 합니다.