판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9197130

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체 산업, 특히 차세대 메모리 칩 및 기타 특수 응용 프로그램 제작을 위해 설계된 원자로 유형입니다. PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 와 ALD (Atomic Layer Deposition) 를 결합한 기술을 사용하여 칩 제작에서 중요한 매개변수를 매우 단단히 제어 할 수있는 고급 다중 영역, 회전 효과 장비입니다. AKT Endura II 시스템에는 프로세스 안정성을 높이고 다운타임을 줄이기 위해 설계된 여러 가지 기능이 있습니다. 난방기 및 증착 소스를위한 고출력 플라즈마를 추출하도록 설계된, 신뢰성이 높은 초고순도 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Chamber) 가 특징입니다. 챔버 (chamber) 는 또한 일관된 펄스 플레 넘 (pulse plenum) 을 특징으로하여 안정적인 열 적재 및 입자 확산을 제공하여 일관된 냉각 및 열 손실을 보장합니다. AMAT Endura II 장치는 ALD 및 PECVD 기술을 결합하여 매우 타이트한 증착 제어를 만듭니다. 이렇게 하면 각 레이어 두께를 정확하게 제어할 수 있고, 더 높은 채움 계수 (fill factor) 의 경우, 더 긴 수명을 가진 우수한 제품을 제공합니다. 이 외에도, 이 기계는 완전하게 자동화된 프로세스 설정 및 레시피 최적화 (recipe optimization) 를 통해 거의 즉각적인 프로세스 설정 및 변경 작업을 제공합니다. 이를 통해 최첨단 디바이스의 제작과 관련된 기존 다운타임을 현저히 줄일 수 있습니다. Endura II 도구는 정밀 서보 모터가 장착되고 전용 명령 프로세서로 제어되는 3 구역, 5 도의 아크 자산을 기반으로합니다. 이를 통해 3 개의 상위 및 하위 프로세스 모듈 각각에 대해 매우 정확한 동작 (motion) 과 동일한 압력 (pressure) 이 가능하여 입자가 감소하고 반복 가능성이 향상됩니다. 진공 아키텍처는 또한 열 균일성 향상과 오염 가능성 저하를 보장합니다. 안전 측면에서, APPLIED MATERIALS Endura II 모델에는 고급 안전 센서가 장착되어 있으며, 모든 현대 안전 표준을 충족하는 밀봉 된 챔버 구조가 특징입니다. 뿐 만 아니라, 그 장비 는 단열층 과 공기 방패 를 이용 하여 "가스 '나 입자 가 전혀 빠져 나가지 않도록 하여 오염 의 위험 을 현저 히 감소 시킨다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II System은 최첨단 장치 구성 응용 프로그램에 대한 정확한 제어를 제공하는 강력하고 안정적인 원자로입니다. 고급 기술, 기능 및 안전 시스템을 갖춘 AKT 엔두라 II (Endura II) 장치는 칩 제조 설비를 제공하여 기대치를 충족하거나 초과하는 성능을 제공합니다.