판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9188227

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9188227
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
PVD Chamber, 12" 2009 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 다양한 재료의 얇은 층을 다른 기판에 형성하고 배치하는 데 사용되는 고급 배치 원자로 장비입니다. 이 시스템에는 다양한 재료로 만든 목표물을 운반 할 수있는 일련의 높은 기울기, 정확하게 조절 가능한 도가니 (crucible) 가 포함 된 특수 진공실이 있습니다. 이러 한 도가니 들 은 일련의 "로봇 '증착 무기 에 연결 되어 있는데, 이것 은 도가니 속 에 있는 물질 을 기판 에 전지구적 으로 혹은 국지적 으로 전달 하는 것 을 관리 할 수 있다. AKT 엔두라 II (AKT Endura II) 는 광범위한 재료와 기판을 위해 설계되었으며, 재료를 빠르게 가열하고, 온도를 정확하게 조절하여 광범위한 레시피를 재배, 증착, 식각 할 수 있습니다. 또한 특허를받은 2 챔버 처리 장치가 특징이며, 보다 집중적 인 처리 응용 프로그램을위한 사전 스퍼터 (pre-sputter) 또는 사전 청소 단계를 제공 할 수 있습니다. AMAT Endura II는 고주파 무선 주파수 유도 플라즈마 소스를 사용하여 저온에서 재료의 고품질, 정밀한 에칭 및 증착을 사용합니다. 또한 더 낮은 온도에서 우수한 어닐링 결과를 가능하게하는 수소 가스 피드 (hydrogen gas feed) 가 특징입니다. 이 기계 에는 또한 "헬륨 '" 가스' 사료 가 들어 있어서, 식각 "패턴 '의 종횡비 를 보존 하면서 습식 식각 조절 을 개선 할 수 있다. APPLIED MATERIALS Endura II는 특허를받은 균일 한 스퍼터링 기술을 사용하여 큰 기판에 걸쳐 매우 균일 한 재료의 증착을 제공합니다. 이 기술은 다중 듀티 사이클 전원을 사용하여보다 일관된 증착층 계층을 제공합니다. 또한 오염 물질을 줄이고 먼지 입자를 제거하여 깨끗한 환경을 보장하는 진공 베이킹 (vacuum baking) 도구가 포함되어 있습니다. 엔두라 II (Endura II) 는 다양한 반도체 재료의 효율적인 성장, 증착 및 에칭을 가능하게하기 위해 최신 기술을 결합한 고급 배치 원자로 자산입니다. "정밀도, 품질" 의 반도체 장치를 만드는 기업을 위한 안정적이고 경제적인 솔루션입니다. 그것 은 "반도체 '재료 산업 에 종사 하는 사람 들 에게 이상적 이며, 고급 재료 에 대한 믿을 만한 증착 과정 을 제공 한다.
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