판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9170922

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AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
판매
ID: 9170922
웨이퍼 크기: 12"
PVD Chambers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 다양한 박막의 증착을 위해 설계된 고급 PECVD/저압 CVD (LPCVD) 원자로 장비입니다. AKT Endura II는 혁신적인 프로세스 챔버 설계를 제공하며 증착 균일성 향상, 더 효율적인 프로세스 제어, 생산성 향상 등 많은 이점을 제공합니다. AMAT 엔두라 II (Endura II) 의 고급 디자인은 다양한 기판과 웨이퍼에서 얇은 필름의 균일 한 증착을 보장하는 "격리" 효과를 특징으로합니다. 이 공정 챔버 디자인에는 대용량 PECVD 또는 LPCVD 챔버와 완전히 밀폐 된 타원형 증착 영역이 포함되며, 가스 캐리어를위한 중앙 입구 포트와 챔버 길이의 3 분의 2 위에 2 개의 작은 Chamber 통풍구가 있습니다. 결과는 가스와 압력 모두에 대한 1 점 진입이며, 모든 기판과 웨이퍼에서 균일 한 증착을 보장합니다. 엔두라 2 세 (Endura II) 는 또한 독특한 가스 전달 시스템 덕분에 프로세스 제어 및 생산성을 향상시킵니다. 이 장치를 사용하여 APPLIED MATERIALS Endura II는 공정 챔버에 들어가는 가스의 볼륨, 흐름 속도 및 타이밍을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 시간이나 재료를 낭비하지 않고 최적의 박막을 배치 할 수 있습니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 최고 품질의 필름을 위해 프로세스 실행 중에 다양한 가스 사이를 자동으로 전환하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 마지막으로, AKT Endura II는 매우 효율적이며, 대부분의 경쟁 PECVD 또는 LPCVD 원자로에 비해 에너지 소비가 적고 배출량이 적습니다. 이러한 효율적인 설계와 정확한 제어를 통해 AMAT Endura II는 주기 시간을 줄이고, 처리량을 최대화하여, 생산성을 높이고, 전체 비용을 절감할 수 있습니다. 요약하자면, Endura II는 다양한 기판 및 웨이퍼에 박막 증착을 위해 설계된 강력하고 효율적인 PECVD/LPCVD 원자로 기계입니다. 혁신적인 공정 챔버 설계 및 고급 가스 전달 도구를 통해 APPLIED MATERIALS Endura II는 증착 균일성 향상, 프로세스 제어 속도 향상, 생산성 향상 등을 제공합니다.
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