판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9167150

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 광범위한 고급 공정 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 이 최신 원자로 장비는 반도체 및 MEMS 장치를 포함한 다양한 응용 분야에 대한 실리카, 실리콘, 질화물, 산화물 등의 박막 증착에 사용됩니다. AKT 엔두라 II (Endura II) 원자로는 특허받은 플라즈마 생성 및 전달 기술을 활용하여 웨이퍼 전체에 걸쳐 정확한 필름 두께를 만들고 더 균일 한 증착을 만드는 최적화 된 디자인을 특징으로합니다. 이 시스템은 사용이 간편하며, 직관적인 사용자 제어 기능 (user control) 을 통해 운영자가 빠르고 쉽게 프로세스 설정에 액세스하고 조정할 수 있습니다. 최고 효율성과 균일성을 보장하기 위해 AMAT Endura II는 일련의 통합 진단 도구와 고급 프로세스 알고리즘을 갖추고 있습니다. 이 도구는 실시간 피드백을 제공하며, 운영자가 프로세스를 평가하고 필요한 조정 작업을 수행할 수 있도록 합니다. 또한 이중 주파수, 주파수 간, 펄스 및 고속 증착과 같은 고급 증착 기술을 제공합니다. 엔두라 II (Endura II) 는 전자 조절 가능한 압력 제어 기계를 장착하여 가장 정확한 기판 및 웨이퍼 균일성을 보장합니다. 이 도구를 통해 원자로는 압력 (pressure), 가스 유속 (gas flow rate) 과 같은 공정 매개변수의 작은 변화를 보상 할 수 있습니다. 또한, 원자로 (reactor) 는 컴퓨터 제어 비디오 자산을 특징으로하여 운영자가 정확한 측정을하고 증착 과정의 변화를 관찰 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II 작동시 안전이 필수적이며, 이 모델을 염두에두고 설계되었습니다. 원자로 는, 고용인 과 장비 를 보호 하는 데 도움 이 되는, 여러 가지 안전 기능 을 갖추고 있다. 이러한 기능에는 무단 인력이 시스템에 액세스하지 못하도록 하는 연동 장치 (Interlock Equipment), 긴급 종료 (Emergency Shoff), 위험한 상황에 대한 시각적 경고 및 가청적 경고가 포함됩니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 가장 정밀한 필름 증착 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급, 고효율 및 안전한 PECVD 원자로입니다. 장치 (unit) 와 함께 제공되는 도구와 기능은 모든 박막 응용 프로그램에 이상적인 도구입니다.