판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9161787

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 광범위한 제품의 반도체 재료 처리를 단순화하도록 설계된 고 처리량, 멀티 웨이퍼 원자로 장비입니다. 이 시스템은 AKT Endura 플랫폼의 처리량 기능과 AMAT 고급 기술의 프로세스 반복성을 결합한 것입니다. AKT 엔두라 II (Endura II) 원자로는 여러 프로세스를 동시에 통합하여 효율적이고 안정적인 재료 증착을 보장하는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 이 원자로는 포토 esist 스트립, 데슘, 건조 및 습식 에치, 잔류 제거, 재싱, 증착 및 기타 고급 화학을 포함한 광범위한 복잡한 과정을 처리 할 수 있습니다. 원자로 구성 요소는 깨끗한 환경에서 작동하며, 여러 웨이퍼를 순서대로 실행할 수 있습니다. 또한 온도 제어를 균일한 다중 영역 환경 (multi-zone environment) 과 로드 및 언로드 시간을 줄이기 위한 빠른 변경 웨이퍼 척 장치 (fast-change wafer chuck unit) 와 같은 고급 기능이 있습니다. FastFlow 최대 확산 코팅으로 AMAT Endura II는 패턴 화 및 플랫 웨이퍼를위한 매우 빠른 확산 코팅 프로세스를 제공합니다. 엔두라 II (Endura II) 원자로는 고급 구성 요소로 제작되었으며 다양한 자동화 기능으로 설계되었습니다. 자동 기능에는 UHV (Ultra High Vacuum) 환경이 포함되며, 이는 안정적이고 예측 가능한 프로세스를 가능하게 하는 깨끗하고 안정적인 환경을 제공합니다. 여러 웨이퍼 크기를 수용하기위한 자동 웨이퍼 처리 기계; 웨이퍼 전송 및 프로세스 자동화를위한 로봇 암. 또한, 이 도구에는 여러 프로세스 컴포넌트의 정확한 온도 제어를 위한 일련의 온도 컨트롤러 (temperature controller) 가 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II 원자로는 강력하고 많은 안전 기능으로 설계되었습니다. 원자로와 사용자의 안전을 보장하기 위해 여러 개의 고속 인터 록 (interlock), 프로세스 중단 경보 (process abort alarm) 및 기타 다양한 안전 시스템이 있습니다. 또한, 자산의 모든 사소한 프로세스는 효과적인 프로세스 추적을 위해 모델의 기록 로그 (history log) 에 기록됩니다. APPLIED MATERIALS의 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 재료 처리 비용을 줄이기 위해 강력하고 신뢰할 수있는 원자로 장비입니다. 모듈식 설계, 고급 자동화 기능, 다양한 안전 (safety) 기능을 갖춘 이 시스템은 매우 효율적이고 안정적인 재료 증착 프로세스를 제공합니다.