판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9156594

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체, 고급 포장, MEM 및 광전자 청정실 환경 내에서 프로세스 통합 및 확장에 이상적인 다용도 다중 도구 원자로 플랫폼입니다. 이 차세대 솔루션은 높은 수준의 처리량, 고급 프로세스를 위해 정확성, 확장성, 향상된 효율성을 제공하도록 설계된 혁신적이고 확장성이 뛰어난 아키텍처를 갖추고 있습니다. AKT Endura II 원자로는 자동화 로봇 솔루션과 함께 모듈식 멀티 프로세스 챔버 설계를 통해 최대 8 개의 로드 포트를 제공합니다. 다재다능한 원자로 플랫폼은 에치, 증착, 어닐링, 드라이 개혁, 커스텀 ALD 프로세스, 플라즈마 소스/파워 전달 및 프로세스 레시피 개발 등 다양한 웨이퍼 크기와 프로세스 기능을 갖추고 있습니다. 각 포트는 ALD (etch with atomic layer deposition), etch/deposition 및 anneal/deposition과 같은 여러 프로세스를 지원할 수 있습니다. 통합 로봇 솔루션을 사용하면 각 포트에서 처리된 기판을 빠르고 효율적으로 로드/언로드할 수 있습니다. AMAT Endura II의 고급 프로세스 제어 장비는 고급 CPC (Collaborative Process Control Strategy) 를 통해 고급 프로세스 개발을 촉진하고 프로세스 효율성을 최적화합니다. CPC는 수많은 자동화 및 연산자 논리 알고리즘을 사용하여 제품의 품질을 높이고, 일시적인 프로세스 상태를 안정화하고, 프로세스 지표를 모니터링하여 불균일성을 완화합니다. 또한 중앙 프로세스 제어 스테이션 (Central Process Control Station) 은 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하여 간편한 학습 곡선 및 빠른 제품 전송을 보장합니다. Endura II의 개방형 연동 아키텍처는 비교할 수없는 변조 방지 안전을 제공합니다. 이 시스템에는 현재 안전 규제를 준수하는 배기 장치 인 안전 차단 (Safety Shutdown Interlock) 이 장착되어 있으며 특허를 받은 화염 체포기 (Flame Arrestor Machine) 가 장착 된 NFPA 보고서 코드와 완벽하게 호환됩니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 다양한 프로세스 챔버, 공급 캐비닛 및 다중 영역 온도 제어, 다양한 in-situ 및 ex-situ 프로세스 가스 소스, RF 전원 공급 장치 및 구성 요소를 제공하여 맞춤형 처리 요구에 더 다양한 기능을 제공합니다. 적응형 기판 및 공구 구성 (Adaptable Substrate and Process Tooling Configuration) 은 분산 처리를 위해 향상된 정밀도를 제공하며, UV-free, 동적 온도 램프 업 및 확장 처리 시간을 위한 로드 잠금 기능을 제공합니다. 결론적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 다양한 고급 반도체, MEM 및 광전자 클린 룸 프로세스에 이상적인 효과적이고 확장 가능한 원자로 플랫폼을 제공합니다. 모듈식, 다중 프로세스 챔버 설계, 최첨단 프로세스 제어 및 변조 방지 (Tamper-Proof) 안전 솔루션은 모든 제조 어플리케이션에 향상된 프로세스 및 사용자 안전, 효율성 및 확장성을 제공합니다.