판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9151707

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체 제작 프로세스에 사용되는 고성능 원자로입니다. 고정밀 고성능 반도체 장치 제조를 위해 설계되었습니다. 이 장비는 업계 최고의 프로세스 기능, 광범위한 자동화 기능, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공합니다. AKT Endura II는 통합, 개폐식 전면 개방 로드 포트와 자동화된 풀 필드 웨이퍼 처리 솔루션을 결합합니다. 시스템에서 최대 8개의 기판을 동시에 안정적으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 자동 처리 장치 (Automated Handling Unit) 는 또한 음향 웨이퍼 중심 기계뿐만 아니라 나노 미터 정확도를 달성 할 수있는 고속 정렬 솔루션을 제공합니다. 원자로 전체의 자동 운송은 프로세스의 일관되고 정확한 반복 가능성을 보장합니다. AMAT Endura II는 원자 층 증착 (ALD), 물리적 증기 증착 (PVD), 화학 증착 (CVD), 에칭, 청소 및 스트리핑을 포함하여 광범위한 증착을위한 프로세스 모듈을 제공합니다. 이렇게 하면 증착 (deposition), 에치 (etch) 및 청소 (clean) 의 세 가지 일반적인 프로세스 단계를 모두 한 단계로 수행할 수 있습니다. 원자로의 지능형 제어 도구 (Intelligent Control Tool) 는 정확한 프로세스 레시피를 제공하며 현장 및 실시간 웨이퍼 품질을 모두 측정합니다. 이렇게 하면 프로세스 조건을 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 자산은 또한 온도, 압력, 유속 (flow rate) 과 같은 프로세스 매개변수를 측정 할 수있는 고급 센서 기술을 갖추고 있습니다. 즉, 프로세스를 정확하게 실시간으로 모니터링하여 일관된 결과를 유지하고 스크랩 (scrap) 을 줄일 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II 의 자동화 기능은 프로세스의 최대 80% 를 자동화하여 효율성을 높이고 주기 시간을 줄일 수 있습니다. Endura II는 메모리 칩, 모델 온 칩, 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 과 같은 다양한 반도체 장치를 고수율, 효율적인 제작할 수 있습니다. 자동화, 정확도, 생산 수익률의 발전으로 반도체 산업에는 매우 매력적인 원자로 (reactor) 가 됩니다.