판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9150559

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체 및 광전자 장치 제조를 위해 설계된 원자로입니다. 이 단일 웨이퍼 처리 장비는 화학 증기 증착, 물리적 증기 증착, 산화, 에칭 등 많은 프로세스를 수행 할 수 있습니다. AKT Endura II 원자로는 논리, 메모리, 마이크로 프로세서, 광학 및 광전자 장치를 포함한 다양한 장치의 생산을 위해 설계되었습니다. 처리량이 많은 제조 환경에 적합합니다. 공간의 설치 공간은 적고, 운영 공간은 좁으며, 유지 보수 (low-maintenance) 설계를 통해 다운타임을 줄이고, 운영 환경을 효율적으로 실행할 수 있습니다. 단일 웨이퍼 시스템에는 증착 과정에서 웨이퍼를 보유 및 전송하는 비접촉 엔드 이펙터 (non-contact end effector) 가 있습니다. 이렇게 하면 처리 중 "웨이퍼 '가 오염 되지 않고" 웨이퍼' 위치 를 정확 히 제어 할 수 있다. 엔드 이펙터 (End effector) 장치는 직경이 최대 8 인치인 기판을 지원할 수 있으므로 현대 생산 시설 내에서 활용하기에 이상적입니다. 엔드 이펙터는 빠른 기판 전송을 허용하는 이중 암 (dual-arm) 수평 기계 플랫폼에 의해 지원됩니다. 또한 자동 로드 잠금 장치 (automated load lock) 를 사용하여 하나의 웨이퍼에서 다음 웨이퍼로 교차 오염을 방지하여 최고 품질의 제품을 보장합니다. 이 플랫폼은 또한 가스 유통 기계 (gas distribution machine) 및 자동 안전 시스템 (automated safety system) 과 같은 다양한 다른 하위 시스템과 통합됩니다. AMAT Endura II에는 정확한 프로세스 제어 및 반복 기능을 제공하는 일련의 프로세스 컨트롤러 (process controller) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 균일성, 균일한 두께, 재현성 측면에서 일관된 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 컨트롤러를 원격으로 관리할 수 있으므로, 간편한 툴 유지 관리 및 업그레이드가 가능합니다. 엔두라 2 호 (Endura II) 원자로에는 사용자 안전을 개선하고 제작 된 장치의 안전을 극대화하는 몇 가지 설계 기능이 있습니다. 안전시스템 (Safety System) 은 모든 프로세스 매개변수를 모니터링하고 제어하며, 비상 사태의 경우 프로세스를 종료하고, 운영자가 위험 (Hazardous) 영역으로 들어가는 것을 방지하는 자동화된 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 원자로에는 공정 시동 (start-up) 및 종단 (shut-down) 을 방지하는 안전 연동 (safety interlock) 자산이 장착되어 사고의 가능성을 줄여줍니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Endura II는 대용량 반도체 및 광전자 장치 제조를위한 강력하고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 이 제품은 설치 공간이 작고 유지 보수가 적은 설계, 자동화된 안전 시스템 (Safety System) 및 신뢰할 수 있는 프로세스 컨트롤러 (Process Controller) 를 갖추고 있어 고품질 결과와 안전한 생산을 보장합니다.