판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9147006

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 산업 응용 분야에서 화학 증기 증착 (CVD) 에 사용되는 공정 원자로입니다. 모듈식 플랫폼 (modular platform) 에 맞게 설계되어, 향후 업그레이드 또는 유지 보수를 위해 여러 구성 요소를 손쉽게 추가 및 교체할 수 있습니다. AKT 엔두라 II (Endura II) 원자로는 대규모 가공량을 특징으로하여 더 큰 기판 크기를 허용하며, 이는 대규모 생산에 이상적입니다. 원자로는 또한 일반적인 CVD 원자로보다 빠르게 작동하여 처리량을 높이도록 설계되었습니다. AMAT Endura II는 크기가 다른 기판 전체에서 최적의 온도 균일성과 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 원자로는 절연 챔버 (exulated chamber) 와 향상된 난방 요소 설계를 갖춘 고급 난방 시스템을 갖추고 있습니다. 이 온도 균일성과 좋은 난방 요소의 조합으로 고품질 코팅이 가능합니다. 또한, 원자로는 뜨거운 벽 (hot-wall) 설계를 가지고 있으며, 벽에서 직접 가열이 가능하며, 이는 복잡한 셔틀 시스템이 반응 챔버 안팎으로 기판을 이동시킬 필요가 없습니다. 엔두라 II (Endura II) 는 또한 원격 광학 센서를 사용하여 온도 수준을 측정하여 정확한 온도 조절을 허용합니다. 원자로 뒷면에 "센서 '를 장착해" 핫월' 시스템의 간섭을 없애고 정확한 판독값을 확보할 수 있다. 센서는 기판 및 공정 챔버의 온도 수준을 측정합니다. 이렇게 하면 "기판 '과" 챔버' 가 최적 의 "코우팅 '과정 을 위해 정확 한 온도 에 있게 된다. APPLIED MATERIALS Endura II는 또한 원자로의 가스 흐름을 결정하는 고급 가스 흐름 컨트롤러 (Gas Flow Controller) 로 설계되었습니다. 이것 은 증착 과정 에서 중요 한 요인 인데, 이것 은 적재 속도 와 증착 "에너지 '질 에 영향 을 미치기 때문 이다. 컨트롤러는 또한 CVD 가스의 잠재적 인 후면 확산을 방지하여 코팅 레이어를 손상시킬 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 CVD 프로세스를 위해 특별히 설계된 강력하고 효율적인 공정 원자로입니다. AKT Endura II는 모듈 식 디자인, 높은 처리량 처리, 균일 한 가열 및 광학 센서로 균일 한 코팅으로 코팅 된 품질 기판을 허용합니다.