판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9072467

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ID: 9072467
웨이퍼 크기: 12"
Preclean Chambers, 12" VAT valves: included Matches: no.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체, 광전자 및 마이크로 전자 장치 제조에서 처리량을 처리하도록 설계된 고성능, 신뢰할 수있는 원자로입니다. 집적 회로 (IC), 광전자 장치, 마이크로 일렉트로닉 구성 요소와 같은 고도로 집적된 장치의 제작에 사용됩니다. AKT Endura II에는 그래포-전극 (G-E) 전기장이 장착되어 있으며, 이는 매우 높은 정확도로 5-30V 사이에서 30V 필드를 생성 할 수 있습니다. 이 기능을 통해 장비는 매우 낮은 전기 및 열 구배 (gradient gradient) 로 작동하여 정확하고 반복 가능한 처리를 할 수 있습니다. AMAT Endura II는 또한 3 차원 플라즈마 흥분 기술을 가지고 있으며, 이를 통해 플라즈마 에너지의 복수 주파수를 생성 할 수 있습니다. 이 에너지는 통합 칩 (integrated chip) 으로 전달되므로 장치의 정확하고 정밀 제어 처리가 가능합니다. APPLIED MATERIALS Endura II에는 마이크로 전자 장치를위한 복잡한 패턴을 에치하도록 설계된 2 챔버 마이크로 에치 시스템도 포함되어 있습니다. 이 2 챔버 설정은 열 및 광화학 에칭을 모두 사용합니다. 열 에칭을 정확하게 제어하여 오버 에칭을 피하고 반복 가능한 결과를 제공 할 수 있습니다. 광화학 에칭 (Photochemical Etching) 을 사용하면 장치의 포토레스 (photoresist) 패턴을 정확하게 제어할 수 있으므로 여러 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 처리량이 많은 여러 프로세스 챔버도 있습니다. 최대 16 계층의 통합 장치 패턴 작업 시 여러 프로세스 챔버를 통합할 수 있습니다. 이를 통해 빠르고 정확한 생산 속도가 가능합니다. 프로세스 챔버 외에도 엔두라 II (Endura II) 에는 다운타임을 최소화하고 운영 비용을 절감하는 자동화된 정렬, 로드 및 언로드 시스템도 포함되어 있습니다. 마지막으로, 기계의 내장 안전 기능은 안전하고 안정적인 방법으로 공구의 작동을 보장합니다. 안전 자산에는 고온 경고 모델, 비상 차단 스위치, 전기 접지 장비, 비상 환기 시스템 (Emergency Venting System) 이 포함됩니다. 간단히 말해서, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체, 광전자 및 마이크로 전자 장치의 고출력 처리를 위해 고성능, 신뢰할 수있는 원자로입니다. 고급 G-E 전기장, 3 차원 플라즈마 흥분 기술, 2 챔버 마이크로 에치 장치, 다중 공정 챔버, 자동 로드 및 언로드 시스템이 여러 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. AKT Endura II는 내장 안전 기능을 통해 안정적이고 안전한 처리를 제공합니다.
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