판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293830799
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ID: 293830799
빈티지: 2015
Physical Vapor Deposition (PVD) system
(4) PVD Chambers
(2) Process chambers, 12", PN: 0060-03608, 0060-03609
Degas chamber
Pre clean chamber
Carrier, 12"
Wafer, 4" - 6"
Load port
Wafer carrier, 5 x 4" Wafer pocket, 4" Tray
(2) SiC Carrier (4", 6 hole) SiC Carriers
HON HAI PRECISION, Endura 2, 4" - 6P + 2" -1P SiC Tray
EDWARDS, IH600, Dry pump (IH600 MKS), Power supply: 200 - 208 V
EDWARDS, IH600 MK5, Pump, Power supply: 200 - 208 VG, 50/60 Hz
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II 원자로는 광범위한 코팅 재료를 매장하도록 설계된 고성능, 비용 효율적인 플라즈마 강화 화학 증기 증착 장비입니다. AKT Endura II 원자로는 뛰어난 균일성, 접착 및 수직성을 가진 필름을 입금하는 기능을 통해 고급 기판, 광전자, MEMS, 평면 패널 디스플레이 및 바이오 호환 코팅을 포함한 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 시스템 설계의 핵심에는 AKT의 특허 출원 중인 Smart View 플라즈마 챔버가 있습니다. 이 기능을 사용하면 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 후면에서 증착 과정을 쉽게 모니터링 할 수 있습니다. 상공 회의소 의 창문 이 놓여 있는 가운데, 연구가 들 은 전 "챔버 '를 실시간으로 감시 함 으로써 증착 균일성 이 증가 함 으로써 유익 을 얻는다. 스마트 뷰 (Smart View) 기능은 또한 연구원들이 도전하는 응용 프로그램의 공정 매개변수가 증착율에 미치는 영향을 이해하는 데 도움이됩니다. AMAT Endura II 원자로는 동종 샘플 또는 기판 코팅을 보장하는 이중 구역 저항 열 단위로 구성됩니다. 2 구역 온도 조절기는 작업 영역 전체에 균일 한 온도 분포를 보장하는 한편, 빠르고 깨끗한 시동 (start-up) 및 냉각 (cool-down) 을 제공합니다. 원자로에는 방내의 가스 유통을 모니터링하고 자세한 공정 정보를 제공하는 반응성 탐지기 (reactive detector) 가 장착되어 있습니다. 또한 ARG (Adjustable RF Generator) 및 LSG (Linear Sweep RF Generator) 기능을 통해 APPLIED MATERIALS Endura II 플라즈마 원자로는 전통적인 CVD 시스템에 비해 연구원들에게 추가적인 이점을 제공합니다. Endura II 원자로는 Smart View 플라즈마 챔버 외에도 최대 플라즈마 제어를 위해 설계되었습니다. 고정 주파수 및 조절 가능한 주파수는 연구원들에게 입자 고갈을 줄이고 플라즈마 균일 성을 증가시키는 기능을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 또한 최적의 처리를 위해 가스 혼합을 모니터링하는 고정밀 자동 가스 차단 및 가스 제어 도구를 갖추고 있습니다. 안전성 측면에서 AKT Endura II 원자로에는 진공 연동 자산, 부식 내성 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 가 장착되어 있으며 낮은 수준의 배출량으로 설계되었습니다. 첨단 응급 모니터링 (Emergency Monitoring) 모델로, 오용을 방지하고 안전하고 안전한 작업 영역을 제공합니다. 요약하자면, AMAT Endura II는 광범위한 코팅 재료를 매장하도록 설계된 고성능, 비용 효율적인 플라즈마 강화 화학 증기 증착 장비입니다. APPLIED MATERIALS Endura II 원자로는 독특한 Smart View 플라즈마 챔버, 2 구역 온도 조절 시스템, 반응성 검출기, 조절 및 선형 스윕 RF 생성기, 가스 차단 및 가스 제어 장치 및 고급 응급 모니터링 머신으로 다양한 코팅 응용 프로그램에 대한 놀라운 솔루션을 제공합니다.
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