판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293822584

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor는 고밀도 장치 기술을 위해 설계된 산업 에칭 및 증착 장비입니다. 이 시스템은 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 제조를위한 에칭 및 증착 프로세스를 수행 할 수 있습니다. AKT Endura II는 진공 챔버, 반응 챔버, 주 챔버, 진공 배기 및 제어 장치, 다양한 옵션 구성 요소로 구성된 멀티 챔버 도구입니다. AMAT Endura II는 최대 4 개의 공정 챔버를 갖추고 있어 프로세스 유연성이 향상됩니다. PECVD, photoresist stripping, wet etching, RIE (reactive ion etching), reactive sputtering 및 liftoff etching을 포함한 다양한 증착 및 에칭 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 최대 4 개의 주요 챔버 현관, 3 개의 제품 및 1 개의 단일 엔드 발전기를 지원할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II의 주요 공정 챔버는 공정 가스, 가스 소스 및 액체 소스를 사용하도록 설계되었습니다. 제조 기술 (Fabrication Technology) 의 확장과 요구 사항에 따라 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 자동 가스 스위칭, 비활성 및 비 반응성 가스 제어, 자동 가스 믹싱 머신 (automated gas mixing machine) 과 같은 여러 기능이 있습니다. 또한, 여과 및 온도 조절을위한 광범위한 온도, 압력 프로브 및 전극이 장착되어 있습니다. Endura II의 반응 챔버에는 2 개의 반응 포트가 있으며, 이는 최대 4 개의 기질을 지원할 수 있습니다. 그것 은 압력 과 온도 조절 을 정확 히 할 수 있도록 설계 되었으며, 광범위 한 "기판 '과 여러 가지" 가스' 흐름 조건 을 처리 할 수 있다. 또한 자동 기판 로드 및 언로드 툴과 빠른 사이클 시간 제어 (Rapid Cycle Time Control) 기능이 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II에는 SmartView 모노크로메이터 (SmartView Monochromator) 와 같은 다양한 옵션 구성 요소가 장착되어 있으며, 이는 표면을 즉석에서 분석하는 데 사용되는 정교한 광학 자산입니다. 또한 추가 프로세스 기능을 제공하는 고주파 RF 전원 생성기 인 에코 플렉스 (Echoflex) 발전기에서도 사용할 수 있습니다. AKT 엔두라 II (Endura II) 는 고급 에칭 및 증착 요구에 이상적인 모델로, 소형 웨이퍼 처리에서 대규모 생산에 이르기까지 다양한 기능을 제공합니다. 광범위한 기능과 옵션을 통해 다양한 반도체, 디스플레이, 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics) 제작 프로세스에 적합합니다.