판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293815284

ID: 293815284
빈티지: 2017
Physical Vapor Deposition (PVD) system XU-ACP130-A15 Prealigner & centering module XU-RC350S Automated Teller Machine (ATM) robot NXC100 Controller XU-ACL4230 Linear track module (3) Front Opening Unified Pod (FOUP) load ports Gray platform type Chamber Positions: Chamber 1: VERSA TiN Chamber 2: HT AL Chamber 3: HT AL Chamber 4: VERSA TiN Chamber 5: HT AL Chamber 6: HT AL Chamber 7: VERSA TiN Chamber 8: DMD Chamber F: DMD MF Robot: XP NSK Robot controller, ceramic blade CF Config: Dual Pass Standard loadlock type Gray loadcenter type: 0190‑48620 DI Cooler Cryo compressor, 208V Line frequency: 50-60 Hz Line voltage: 208V / 480V UPS 2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 안정적이고 정확한 결과를 제공하기 위해 설계된 강력하고 다용도 화학 증기 증착 (CVD) 원자로 장비입니다. 그것은 내화성 안감과 절연 재킷으로 둘러싸인 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 수직 원통형 챔버입니다. 이 재킷은 열 및 압력 손실을 방지하고 프로세스 제어를 개선합니다. 원자로에는 밀봉 된 챔버, 가스 입구 및 콘센트, 전기 난방 시스템이 장착되어 있습니다. 가스입구 (gas inlet) 연결은 여러 가스선을 개별적으로 제어 할 수 있도록 설치하여 사용자가 각기 다른 가스농도 및 온도를 선택할 수 있도록 합니다. AKT Endura II 원자로는 금속 질화물, 다이아몬드 및 재료와 같은 다이아몬드 (DLC) 및 금속 산화물과 같은 양질의 박막을 생성 할 수 있습니다. 필름 두께 증가 또는 감소, CVD 후 처리, 냉각 등 다양한 CVD 프로세스에 사용될 수 있습니다. 통합 전기 가열 장치 (Integrated Electrical Heating Unit) 는 정확한 온도 조절 및 안정성을 가능하게하며, 최적의 다이아몬드 및 질화물 증착을 위해 일관된 저온 범위를 유지하는 데 이상적입니다. 원자로 내 온도 (temperate rate) 를 모니터링하고 자동으로 조정할 수 있으므로 증착률 (deposition rate) 과 형태 (morphology) 를 제어하기 위한 특정 온도 및 온도 프로파일을 선택할 수 있습니다. AMAT Endura II는 매우 효율적이고 경제적인 독특한 디자인을 가지고 있습니다. 내장형 배기기는 챔버에서 빠르고 효율적인 가스 제거 (gas remove) 를 가능하게하여 빠른 퍼징과 높은 스루핑 (through-put) 을 초래합니다. 진공 공구 는 제빵, 통풍구, 축퇴기 의 조합 으로, 기판 을 쉽게 준비 할 수 있게 해 줍니다. 추가 된 공정 제어를 위해, 기판의 온도는 열전도로 측정 될 수있다. Endura II는 CVD 프로세스에 안전하고 안정적인 도구입니다. 그 특징 은 부식 과 입자 오염 을 최소화 하는 데 도움 이 되며, 약실 에는 "센서 '가 장착 되어 있어 위험 한" 가스' 와 소리 를 감지 할 수 있다. 이 스마트하고 효율적인 원자로를 사용하면 높은 품질의 비용 효율적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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