판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293815270

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 고급 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD) 원자로입니다. high-k 및 low-k 재료를 포함한 고급 유전체 박막의 증착을 위해 설계되었습니다. AKT Endura II는 Direct-Drive Showerhead, 고급 멀티 포인트 제어 및 고급 컨테인먼트 시스템을 결합하여 높은 수준의 성능을 제공합니다. AMAT Endura II는 높은 정확도의 직접 드라이브 샤워 헤드 (showerhead) 를 특징으로하며, 이는 큰 샘플 표면에서 균일 한 증착을 달성 할 수 있습니다. 또한 멀티 포인트 제어 시스템 (multi-point control system) 이 특징이며, 여러 지점에서 증착을 정확하게 제어하여 균일 한 증착 프로파일을 만들 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Endura II의 고급 격리 시스템은 탁월한 방출 제어를 제공하여 탁월한 환경 보호를 제공합니다. 엔두라 II (Endura II) 는 진공 및 압력 모드 모두에서 증착을 수행 할 수 있으며, 광범위한 재료를 증착 할 수있다. 증착 기능에는 하이-k 유전체와 로우-k 재료가 모두 포함되어 있으며, 사용자는 다양한 복합 필름을 입금 할 수 있습니다. 원자로는 또한 고속 증착을 수행 할 수 있으며, 최대 80 nm 증착율 (copper rate) 을 제공 할 수있다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 뛰어난 프로세스 제어를 제공합니다. AKT Endura II는 높은 정확도의 MFC (Mass Flow Controller) 시스템을 사용하여 흐름을 정확하게 제어하고 프로세스 제어를 정확하게 보장합니다. 또한, 원자로에는 통합 RF 발전기가 장착되어 있으며, 이는 PECVD 증착 동안 플라즈마 매개변수를 제어하는 데 사용될 수있다. AMAT Endura II는 회사의 프로세스 제어 소프트웨어와도 호환됩니다. 이 소프트웨어는 사용자에게 상세한 프로세스 모니터링 및 제어 (Control) 기능을 제공하여 원자로 증착 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 high-k 및 low-k 유전체의 정확한 증착을 제공하도록 설계된 고급 PECVD 원자로입니다. 원자로의 다이렉트 드라이브 쇼어 헤드 (direct-drive showerhead), 고급 멀티 포인트 제어 (multi-point control) 및 고급 격리 시스템은 모두 뛰어난 증착 프로파일과 환경 보호를 제공하도록 설계되었습니다. 원자로는 진공 (vacuum) 모드와 과압 (overpressure) 모드 모두에서 고속 증착을 수행 할 수 있습니다. 또한, 통합 RF 생성기 및 프로세스 제어 소프트웨어는 정확한 프로세스 모니터링 및 제어를 제공합니다.