판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293628318
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ID: 293628318
웨이퍼 크기: 12"
PVD System, 12"
Process: Liner / Barrier
Hard Disk Drive (HDD) not included.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II 원자로는 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 이 "시스템 '은 보호 및 기타 용도 를 위하여 표면 에 적용 할 수 있는 여러 가지 재료 의 박막 과" 코우팅' 을 만드는 데 사용 된다. AMAT Endura II 원자로는 기판, 공정 가스 전달 장치, 열 소스 및 전원 공급 장치가 장착 된 챔버로 구성됩니다. APPLIED MATERIALS Endura II 원자로에는 폴리실리콘과 산화물 CVD, 단일 웨이퍼 머신이 장착되어 있으며 한 번에 최대 6 인치 또는 4 개의 8 인치 웨이퍼를 일괄 처리하도록 구성 할 수 있습니다. Endura II 원자로는 증착 균일성과 뛰어난 공정 제어를 제공합니다. 이 장치 는 가열 된 기판 "홀더 '를 특징 으로, 반응" 챔버' 에서 기질 의 균일 한 위치 를 유지 할 수 있다. 이렇게 하면 레이어가 균일해지고, 기판의 오염을 줄이는 데 도움이 됩니다. 반응 챔버 (reaction chamber) 는 또한 뛰어난 온도 조절을 제공하여 정확하고 반복 가능한 필름 두께와 균일성을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II 원자로는 넓은 지역 기판에서도 고도의 균일성을 제공 할 수 있습니다. 이는 여러 프로세스 제어 매개변수를 사용할 수 있기 때문에, 최적화되고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 또한, AMAT Endura II 원자로는 특허를받은 고속 증착 후 냉각 기능을 갖추고 있으며, 이는 필름의 잔류 스트레스를 크게 줄여 우수한 필름 특성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Endura II 원자로는 웨이퍼 전체에 걸쳐 탁월한 필름 두께의 균일성을 제공하며, 처리 후 미세한 튜닝 매개 변수를 제공하여 균질한 레이어 형성 및 최적의 프로세스 생산성을 보장합니다. 엔두라 2 호 (Endura II) 원자로는 실란과 산소를 포함한 다양한 가스를 처리 할 수 있으며, 최대 섭씨 1100 도의 온도에서 달릴 수 있습니다. 이 도구는 또한 다양한 옵션 (예: PLC (Programmable Logic Controller) 및 Interlock 옵션) 을 사용하여 사용자가 최상의 결과를 얻을 수 있도록 도와줍니다. 탁월한 프로세스 제어와 다양한 프로세스 기능을 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS 엔두라 II (Endura II) 원자로는 신뢰할 수 있는 고성능 CVD 자산을 원하는 사람들에게 적합한 선택입니다.
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