판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293624638

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II 장비는 반도체 및 유전체 필름 제조 산업에 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 원자로로, 정확하고 반복 가능한 공정 결과를 제공합니다. AMAT Endura II는 안정적이고, 비용 효율적이며, 다양한 어플리케이션에서 사용할 수 있는 고성능 솔루션입니다. 직관적인 터치 스크린 사용자 인터페이스, 정확한 온도 조절을위한 솔리드 히터 (solid heater), 가스 입력 옵션이 다른 다양한 설치 가스 패키지, 온도, 압력, 가스 흐름 속도 조정 기능 등 여러 가지 기능이 있습니다. 가스 공급 장치에서 펌핑 된 반응성 가스의 흐름은 APPLIED MATERIALS Endura II의 정확한 전자 질량 흐름 컨트롤러 (MFC) 에 의해 제어됩니다. MFC는 전체 반응물 가스 범위에 대해 정확하게 교정 된 유속 (flow rate) 을 정확하게 제어하여 원자로 내부의 압력, 온도 및 가스 농도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 반응물 가스와 배기 가스는 일반적인 배기 라인을 통해 길들여지고 RFTV (RusedFlow Exhaust and Throttling Valves) 는 배기를 제어하는 데 사용됩니다. 엔두라 II (Endura II) 는 기판 홀더 기판에 3 개의 열 분리 구역으로 구성된 독특한 열 제어 시스템을 사용한다. 이들 영역 중 하나 인 증착 구역 (deposition zone) 은 최대 800 C의 공정 온도에 사용됩니다. 다른 두 영역은 증착 공정 후 기판 배치 전조 (pre-conditioning) 및 기판 홀더 냉각에 사용됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II 유닛의 메인 챔버 (main chamber) 는 고급 스테인리스 스틸 (stainless steel) 이며 외부 환경과 완전히 분리되어 공정 전체에서 높은 순도를 유지하기위한 진공기가 필요하지 않습니다. 정확한 프로세스 제어를 위해 AMAT Endura II는 고급 컨트롤러와 피드백 루프 (feedback loop) 를 사용하여 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링합니다. 엔두라 (Endura) 도구에 다양한 센서가 설치되어 있으며, 증착 프로세스 전반에 걸쳐 샘플을 가져와 프로세스 조건을 조정하고 프로세스 제어를 철저히 유지하는 데 사용할 수있는 데이터 (data) 를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Endura II 자산에는 배기 가스를 정제하고 배기 전에 공정 부산물을 제거하기위한 Venturi 스크러버 및 Catalytic Oxidizer가 장착되어 있습니다. 이를 통해 부산물이나 오염 물질 (contaminant) 이 모델을 벗어날 수 없으며 프로세스 환경이 순수하게 유지됩니다. 전반적으로, Endura II 장비는 안정적이고 안정적인 CVD 증착 도구이며, 이는 최대 수준의 반복 가능성을 갖춘 정확한 프로세스 결과를 제공합니다. 이 제품은 효과적인 제어 및 모니터링 시스템 (Control and Monitor System) 을 갖추고 있으며, 최적의 증착 결과를 얻을 수 있는 상당한 수준의 유연성과 조정성을 제공합니다.