판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293617297

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 293617297
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2021
System, 12" Process: Metal 2021 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II는 반도체 재료 제조에 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 탁월한 프로세스 제어 및 전원을 위한 고성능 장비입니다. AMAT Endura II는 압력, 온도, 반응물 흐름 등 다양한 프로세스 매개 변수를 사용할 수 있습니다. 또한 광학 방출 분광법, 질량 분석법, 표면 웨이퍼 특성 등 다양한 진단 측정이 포함됩니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 고온 여과 시스템을 통합하여 가스 순도를 최대화하여 우수한 공정 반복성 및 수율을 제공합니다. 큰 반응 챔버는 직경이 최대 12 "인 큰 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 원자로는 또한 AST (Automatic Sample Transfer) 모듈과 통합 로드 잠금 (Load-Lock) 을 통해 오염을 최소화하고 처리량을 극대화합니다. Endura II는 또한 반응 챔버를 둘러싼 비활성 챔버를 특징으로합니다. 이 기능을 사용하면 고압 과압 (overpressure) 을 유지할 수 있으므로 개선된 호 동작 및 웨이퍼 가열 제어가 가능합니다. 비활성 챔버 (inert chamber) 는 또한 반응 챔버에 대한 깨끗한 환경을 보장하여 더 나은 프로세스 제어를 가능하게한다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II에는 강력한 컴퓨터 제어 프로세스 제어 장치가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 챔버 (chamber) 환경을 사용자정의하고 각 프로세스에 필요한 수준으로 매개변수를 변경할 수 있습니다. 또한, 컴퓨터에는 사용자에게 실시간 데이터를 제공하는 Process Diagnostics Module (프로세스 진단 모듈) 이 포함되어 있어 프로세스 최적화가 가능합니다. AMAT Endura II에는 원격 진단 및 지원 플랫폼도 포함되어 있습니다. 이를 통해 AMAT는 프로세스 및 도구 데이터를 수신하고 분석 할 수 있습니다. 이 플랫폼은 문제 해결 및 유지 보수에 대한 지침과 권장 사항도 제공합니다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS Endura II는 강력한 고성능 CVD 원자로로, 다양한 반도체 재료의 저온 처리에 이상적입니다. 신뢰할 수 있고, 사용자 친화적이며, 깨끗한 자산으로, 뛰어난 프로세스 생산성, 뛰어난 프로세스 반복성, 빠른 처리량을 보장합니다.
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