판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293616611

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II Reactor는 다양한 응용 프로그램에서 리소그래피, 에치 및 증착 프로세스를 위해 설계된 고급 고성능 제작 플랫폼입니다. 자동화된 프로세스 제어 (Process Control) 및 현장 모니터링 (In-Situ Monitor) 과 같은 고품질 생산 기능과 기능을 갖춘 멀티 스택 대용량 생산을 위해 설계되었습니다. AMAT Endura II는 처리량, 장치 크기 및 광전자 성능에서 상당한 발전을 제공합니다. 자동화된 제어 모듈 (Automated Control Module) 이 장착되어 있어 프로세스 레시피 개발 및 반복성을 정확하고 안정적으로 제어할 수 있습니다. APR (Advanced Photoresist Processing) 모듈은 10 나노미터 이하의 리소그래피를 허용하며 SWM (Substrate Warping Monitor) 모듈은 대형 웨이퍼에 대한 정확한 온도 및 변형 제어를 보장합니다. 또한 EIS (Enhanced In-Situ Monitoring) 시스템은 고급 현장 도량형 데이터를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 고급 진공 내 클러스터 도구 아키텍처를 중심으로 구축되었습니다. 이 구성은 최대 4 개의 프로세스 모듈 (각각 여러 개의 챔버가 장착되어 있음) 로 구성되며, 여기에는 추가 캐비닛 공간이 필요 없습니다. 즉, 처리량을 높이고 유지 관리 비용을 절감하는 동시에 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 시스템의 주요 챔버에는 무선 주파수 (RF) 소스, 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 및 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스 및 나노 초 펄스를 포함한 다양한 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. "플라즈마 '는" 코우팅', "에칭 '및 청소 과정 을 적용 하여 복잡 하고 고급 된 구조 를 만들 수 있게 해 준다. 또한 엔두라 II (Endura II) 는 정전식 필터와 선형 증폭기를 통합하여 고전압 및 낮은 파급 전원 공급 장치를 제공하는 고급 전원 공급 장치 설계를 자랑합니다. 이를 통해 이온 빔 에너지 (ion beam energy) 와 용량 속도를 정확하게 제어하여 비 균일성, 반복성 및 수율을 향상시킬 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II (AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II) 는 프로세스 레시피, 복잡한 전처리 및 후처리 데이터를 기반으로 하는 레시피, 오프라인으로 레시피를 실행할 수 있는 프로그램 기능을 통해 사용자 편리성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 프로세스 데이터 분석 (process data analysis) 도구 집합은 철저한 후처리 분석을 가능하게 하는 반면, 하드웨어 제어 제품군은 특정 레시피 사용자 정의 및 재료 제어를 허용합니다. 이 시스템은 또한 내장된 레시피 데이터베이스 (레시피 데이터베이스) 를 갖추고 있는데, 사용자는 레시피를 저장하고 리콜하여 다른 프로세스에서 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 AMAT Endura II는 까다로운 에칭, 리소그래피 및 증착 프로세스를 위해 설계된 강력하고 고급 제작 플랫폼입니다. 고급 프로세스 제어, 현장 모니터링 기능, 자동 레시피 제어 (Automated Recipe Control) 기능을 통해 고품질 결과와 향상된 장치와 패턴 크기를 제공합니다. 유연성 제품군 (Flexibility Suite) 과 하드웨어 제어 기능을 통해 사용자는 프로세스를 최적화하여 정확성과 처리량을 향상시킬 수 있습니다.