판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293616137

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 293616137
빈티지: 2011
Metal PVD System 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II는 대용량 제조 응용 분야를 위해 특별히 설계된 특수 플라즈마 에치 원자로입니다. 신뢰성이 높은 이 장비는 탁월한 정밀도로 다양한 재료를 효율적으로 에칭 (etching) 할 수 있습니다. AMAT Endura II는 단일 웨이퍼 배치 구성으로, 서브 미크론에서 여러 미크론에 이르는 기능 크기에 적합합니다. 시스템의 핵심은 고효율의 다중 주파수 펄싱 플라즈마 소스이며, 이는 높은 에치 레이트 (etch rate) 와 우수한 에칭 선택성을 모두 허용합니다. 이 혁신적인 특허 플라즈마 소스는 프로그램 가능한 주파수 변조 (Frequency Modulation) 를 사용하여 최적의 프로세스 창을 유지하면서 에치 깊이 및 피쳐 해상도를 정확하게 제어합니다. 이 매우 빠르고 정확한 에칭으로 APPLIED MATERIALS Endura II는 시장에서 가장 많이 찾는 시스템 중 하나입니다. Endura II의 유연성과 힘은 고급 AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II Process Control and Analysis Software에서 제공됩니다. 이 사용자 친화적인 소프트웨어 제품군을 사용하면 정교한 이벤트 제어, 프로세스 모니터링, 에칭 프로세스 자동 분석 등을 수행할 수 있습니다. AMAT 엔두라 II (Endura II) 는 또한 에칭 챔버 안팎으로 웨이퍼를 이동시키는 고급 단일 포획 운송 장치를 사용합니다. 이 기계는 매우 견고하며, 가장 까다로운 상황에서도 안정적이고 안정적인 작동을 제공합니다. 또한, APPLIED MATERIALS Endura II에는 에치 가압 챔버를 모니터링하여 에칭 프로세스의 안정성과 반복성을 보장하는 환경 센서가 포함됩니다. Endura II의 강력한 성능은 에치 챔버로 끝나지 않습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II는 자동화된 프로세스 제어 및 향상된 작업 대기열 관리 기능을 제공하는 고급 계층형 워크플로우를 포함합니다. 이 강력한 자동화 (automation) 기능을 통해 웨이퍼를 신속하게 로드 및 언로드할 수 있으므로, 에칭 프로세스의 다운타임과 변동이 모두 줄어듭니다. AMAT Endura II는 타의 추종을 불허하는 에칭 정밀도와 처리량을 제공하는 고급 원자로입니다. 정교한 다중 주파수 펄싱 플라즈마 소스는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 에치 깊이 및 기능 해상도를 제공하는 반면, APPLIED MATERIALS Endura II Process Control and Analysis Software는 종합적인 이벤트 제어, 프로세스 모니터링 및 분석을 제공합니다. 또한, 이 도구의 고급, 단일 포획 전송 자산 및 작업 대기열 관리 기능은 빠르고, 효율적이며, 강력한 작동을 제공합니다. 이러한 모든 기능 덕분에 엔두라 II (Endura II) 는 엄격한 차원 제어 요구 사항을 갖춘 대용량 에칭 작업에 이상적인 솔루션입니다.
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