판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293616136

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 마이크로 일렉트로닉스와 같은 박막 증착에 널리 사용되는 최첨단 원자로입니다. 진공 시스템, 공정 챔버, 전원 공급 장치 및 최종 이펙터 암의 4 가지 구성 요소로 구성됩니다. 진공 시스템은 원자로가 제대로 작동해야 할 초고진공 환경 (ultra-high vacuum environment) 을 만드는 역할을 한다. 여기에는 10-7 mBar 마크 근처에서 압력을 유지하도록 설계된 일련의 펌프, 밸브 및 게이지가 포함됩니다. 또한, 진공 경로를 따라 O 고리와 같은 재료는 원치 않는 작은 입자의 수송을 최소화하는 데 도움이됩니다. T 그는 공정 챔버가 원자로의 주요 구조 구성 요소이다. 이 "컨테이너 '는 여러 개 의" 포트' 를 가진 커다란 원통형 "컨테이너 '로서 재료 를 공급 하고 대피 할 수 있다. 내부에는 반도체 기질 (일반적으로 실리콘) 과 표적 기질 (예: 산화 실리콘) 을 보유 할 수있는 정전기 척이 포함됩니다. 또한 증발기, 전원 공급 장치, 가스 입력 장치, 소스 열 컨트롤러 등 여러 가지 기기가 있습니다. 이 "에너지 '를 공급 하면, 원자로 는 약실 의 전극 과 기판 사이 의 전압 차이 를 만들 수 있다. 이러 한 전압 을 변화 시킴 으로써, 여러 가지 다른 "박막 '이 기판 에 생성 될 수 있다. 엔드 이펙터 암 (End-effector arm) 은 챔버 주위에 기판을 움직이며 필요한 와이어 수를 줄이는 데 도움이됩니다. AKT Endura II는 엄청나게 다재다능하고 정확한 도구입니다. 진공계 와 전원 공급 장치 를 주 의 깊이 보정 하면, 유전체, 반도체, 기타 종류 의 "코오팅 '을 비교적 쉽게 만들어 낼 수 있다. 이 제품은 특성이 뛰어난 매우 박한 필름 (thin film) 을 제작할 수 있으며, 높은 수율, 낮은 전력 소비량, 뛰어난 성능을 지닌 장치를 생산하는 데 사용될 수 있습니다.