판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293615241

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 고급 재료 증착 공정을 위해 설계된 고급 원자로입니다. 폴리 실리콘, 실리콘 게르마늄, Pt/Au, high-k/metal-gate 및 중재 유전층과 같은 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. 이 제품은 하이엔드 집적회로 제품의 고출력 비시야 (non-of-sight) 생산을 자랑하며, 반도체 업계에서 전례 없는 수준의 생산성과 유연성을 제공합니다. AKT Endura II는 최대 52 개의 열 국소 전달 시스템을 갖춘 X-Y 구성으로 구성된 최대 4 개의 개별 원자로로 구성된 대규모 클러스터 도구입니다. Endura Control Console과 결합하여 5 ~ 500nm의 강력하고 정확한 다중 프로세스 증착이 가능합니다. 원자로는 또한 구성 가능한 공정 결합 고 처리량 웨이퍼 청소를 제공합니다. 여기에는 균일 한 프로세스 기능, 전방향 소스 투 기판 기능 및 종합적인 안전 기능이 있습니다. 원자로는 공정 유연성을 가지고 있으며, 기판 온도는 250 ° C, 기판 바이어스는 +/- 1000V까지 완전히 열 조절이 가능합니다. 이것은 I.C.에서 종종 필요한 복잡한 고가로 비율 기능의 증착을 허용합니다. 제품. 또한 유전체 층의 3D 패턴화 및 Pt/Au 또는 고급 Is의 생산에 다른 재료를 사용할 수있는 독특한 rf 변조 기능이 있습니다. 또한 단일 사이클 내에서 비활성 가스 챔버의 가스 혼합 튜닝 또는 변형을 가능하게하는 3 개의 교환 가능한 가스 분사 모듈이 있습니다. AMAT Endura II에는 센서 및 진단 도구의 피드백을 활용하여 프로세스 매개 변수를 표시하고 귀중한 시스템 무결성 정보를 모니터링하는 의사 결정 기반 시스템이 있습니다. 이를 통해 원자로는 주변 환경, 온도, 압력 (pressure) 과 같은 다양한 매개변수에 신속하게 이해하고 적응할 수 있습니다. 또한 예기치 않은 상황으로 인한 다운타임 발생을 방지합니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS Endura II는 가상 진단, 프로세스 매개변수 조정 및 여러 보안 기능을 통합하는 직관적인 사용자 인터페이스를 사용합니다. 즉, 전체 프로세스를 간소화하여, 그 어느 때보다 사용이 간편하고 효율적입니다. 그 결과, 다용도, 유연성, 효율성을 갖춘 도구로, 고급 재료 증착 (advanced materials deposition) 과 관련된 시간과 노동력을 대폭 줄일 수 있습니다.